Il Bell Jar 35 è un sistema al plasma da laboratorio sviluppato per esperimenti scientifici. Il sistema puà essere usato per vaporizzazione termica, sputtering, vaporizzazione con electron beam, coating metallico per preparazione SEM (microscopio elettronico a scansione) come pure per processi al plasma tradizionali Contattaci! Saremo lieti di fornire maggiori dettagli.
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Configurazione base
- Alloggiamento cca. L 560 mm x A 1640 mm x P 620 mm
- Volume della camera: cca. 35 litri
- Alimentazione: 230 V / 16 A
Erogazione del gas
- 3 pezzi Mass-Flow-Controller (MFC)
Camera da vuoto
- Campana in vetro borosilicato∅ 315 mm x A 500 mm
Sorgente di sputtering
- 1 sorgente di sputtering 2" - 3" + otturatore(l'equipaggiamento gas per processi reattivi è opzionale)
Supporti per substrati
- ∅ 140 mm (supporto riscaldante rotante, raffreddamento substrato opzionale)
- Commutabile come in modalità elettrodo per pre-trattamento al plasma (pulizia, attivazione, etching)
Controllo
- Comando PC (Microsoft Windows XPe)
Misurazione della pressione
- Pirani
Generatori
| Frequenze: | 40 kHz: Potenza 0 - 500 W |
| 13,56 MHz: Potenza 0 - 300 W |
Sorgente di tensione bias c.c. o pulsata unipolare.
Potenza max. 300 WTensione max. 600 V c.c.
Tutti i generatori sono continuamente regolabile da 0 - 100%.
Pompe da vuoto
- In vari formati da produttori diversi (su richiesta con filtri a carbonio attivo)
Altre opzioni
Pezzi di ricambio kit, Manometri, Protezione contro i gas corrosivi, Bombole a gas, Riduttore di pressione, Piastre riscaldanti, Indicatore di temperatura, Camera riscaldabile, Gabbia di Faraday, Accessori per la polimerizzazione, Set per test a inchiostro, Generatore d'ossigeno, Aerazione lenta della camera del vuoto , Evacuazione lenta della camera del vuoto , Portapezzi TEM, Contratto di manutenzione per il Vostro impianto al plasma, Documentazione nella lingua del paese di utilizzo , Installazione dell'impianto al plasma in loco . Altre informazioni su richiesta.