I sistemi al plasma Femto possono essere combinati in un sistema modulare in diverse varianti. Di seguito viene fornita una panoramica delle opzioni più comuni per i sistemi di plasma Femto. I sistemi al plasma Femto sono utilizzati principalmente nei seguenti settori:
- Analitica
- Archeologia
- Settore automotive
- Ricerca e sviluppo
- Tecnica dei semiconduttori
- Medizin
- Tecnologia di produzione su piccola scala
- Tecnologia delle materie plastiche
- Microsistemi
- Sensori
- Sterilizzazione
- Ingegneria tessile
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Brochure FEMTO
Attrezzatura di base
- Gli alloggiamenti variano a seconda dei componenti/delle opzioni
- Volume della camera: a seconda della versione 1,9 - 6 litri
- Alimentazione: 230 V per il dispositivo piccolo, 400 V/3 fasi per il dispositivo grande
Erogazione del gas
- Valvola a spillo
- Mass-Flow-Controller (MFC)
Camere da vuoto
- Acciaio inossidabile, rotonda con coperchio(cca. ∅ 100 mm, L 278 mm o L 600 mm)
- Acciaio inossidabile, rettangolare, porta a battente(cca. L 103 x P 285 x A 103)
- Alluminio, rotonda con coperchio o porta a battente(ca. ∅ 95 mm, L 280 mm o L 600 mm)
- Quarzo (UHP) rotonda con coperchio o porta a battente(ca. ∅ 95 mm, L 280 mm o L 600 mm)
- Vetro borosilicato (UHP) rotonda con coperchio o porta a battente(ca. ∅ 95 mm, L 280 mm o L 600 mm)
Caricamento
- Portacampioni (opzione: raffreddato ad acqua), vassoio in quarzo, tamburo rotante per polveri, tamburo rotante per pezzi sfusi, lamiera di alluminio, lamiera di acciaio inossidabile, vetro borosilicato, quarzo
Elettrodi
- A singolo o pluristrato
- RIE
Controlli
- Semi-automatico
- Controllo PCCE (Microsoft Windows CE)
- Controllo PC (Microsoft Windows POS Ready 2009)
Misurazione della pressione
- Pirani
- Baratron (per versione con gas corrosivi)
Timer
- Digitale
Generatori
| Frequenze: | 40 kHz: Potenza 0 - 100 W; 0 - 1000 W |
| 13,56 MHz: Potenza 0 - 50 W; 0 - 300 W | |
| 12,45 GHz: Potenza 0 - 100 W; 0 - 300 W |
tutti i generatori sono regolabili in modo continuo nell'intervallo 0 - 100%.
Pompe da vuoto
- In vari formati da produttori diversi (su richiesta con filtri a carbonio attivo)
Altre opzioni
Pezzi di ricambio kit, Manometri, Protezione contro i gas corrosivi, Bombole a gas, Riduttore di pressione, Piastre riscaldanti, Indicatore di temperatura, Camera riscaldabile, Gabbia di Faraday, Accessori per la polimerizzazione, Set per test a inchiostro, Generatore d'ossigeno, Aerazione lenta della camera del vuoto , Evacuazione lenta della camera del vuoto , Portapezzi TEM, Contratto di manutenzione per il Vostro impianto al plasma, Documentazione nella lingua del paese di utilizzo , Installazione dell'impianto al plasma in loco . Altre informazioni su richiesta.