Sistemi speciali

Sistema al plasma speciake Tetra-2-PC, Roll to Roll

Dati tecnici:

Alloggiamento:L 3491 mm, A 1000 mm, B 1278 mm

Camera:L 1050 mm, ∅ 90 mm

Volume della camera:cca. 2 litri

Erogazione del gas:2 canali via MFCs

Generatore:2 pezzi (ognuno da 40 kHz)(opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Controllo:Controllo PC (Windows) con field bus industriale

Automazione:Roll-to-Roll

Sistema al plasma speciale Tetra-30-LF-PC

Dati tecnici:

Alloggiamento: L 800 mm, A 600 mm, P 500 mm

Camera da vuoto: L 240 mm, A 150 mm, P 240 mm

Volume della camera cca. 30 litri

Erogazione del gas: 1 gas canale con MFC

Generatore: 1 pezzo (40kHz) (Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)

Sistema di controllo: Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Automatizzazione: Il sistema può essere integrato in una linea di produzione

Sistema al plasma speciale Tetra-100-LF-PC

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Dati tecnici:

Alloggiamento: L 2.000 mm, A 2.200 mm, P 2.000 mm

Camera da vuoto: L 700 mm, A 200 mm, P 700 mm

Volume della camera cca. 100 litri

Alimentazione gas: 3 canali gas con MFC

Generatore: 1 pezzi (40kHz) (Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)

Sistema di controllo: Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Automatizzazione: Il sistema ha una porta a cassetto.

Sistema al plasma speciale Tetra-120-LF-PC

Dati tecnici:

Alloggiamento:L 600 mm, A 2150 mm, P 1000 mm

Camera da vuoto:L 1200 mm, A 150 mm, P 1700 mm

Volume della camera:cca. 120 litri

Erogazione del gas:4 canali gas con MFC

Generatore:2 pezzi (ognuno fa 40 kHz)(opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Controllo:Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Automatizzazione: Il sistema ha una porta automatizzata.

Sistema al plasma speciale Tetra-130-LF-PC

Dati tecnici:

Alloggiamento:L 1800 mm, A 2100 mm, P 1300 mm

Camera da vuoto:L 400 mm, A 400 mm, P 810 mm

Volume della camera:cca. 130 litri

Erogazione del gas:3 canali gas con MFC(uno con bombola)1 canale gas monomero valvola a 2/2 vie

Generatore:1 pezzo (13,56 MHz)(opzionale: 40 kHz)

Controllo:Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Caratteristiche:Intervallo UHV con pompa turbo

Sistema al plasma speciale Tetra-140-LF-PC

Dati tecnici:

Alloggiamento:L 600 mm, A 2100 mm, P 650 mm

Camera:L 1200 mm, A 700 mm, P 1500 mm

Volume della camera:cca. 140 litri

Erogazione del gas:3 canali gas con MFC

Generatore:1 pezzo (40 kHz)(opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Controllo:Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Sistema al plasma speciale Tetra-140-LF-PC

Dati tecnici:

Alloggiamento:L 1000 mm, A 1800 mm, P 1000 mm

Camera:L 1000 mm, A 100 mm, P 1400 mm

Volume della camera:cca. 140 litri

Erogazione del gas:2 canali gas con MFC, dosatore monomero liquido per la polimerizzazione al plasma

Generatore:1 pezzo (40 kHz)(opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Controllo:Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Sistema al plasma speciale Tetra-150-LF-PC

Dati tecnici:

Alloggiamento: L 1.000 mm, A 2.100 mm, P 1.000 mm

Camera: L 400 mm, A 600 mm, P 625 mm

Volume della camera cca. 150 litri

Erogazione del gas: 2 canali gas con MFCs

Generatore: 1 pezzo (40 kHz) (Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)

Sistema di controllo:

Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Automatisierung:Roll to roll - larghezza di 400 mm e diametro di 300 mm

Sistema al plasma speciale Tetra-185-LF-PC Desmearing

Dati tecnici:

Alloggiamento:L 600 mm, A 2100 mm, P 1000 mm

Camera:L 400 mm, A 665 mm, P 700 mm

Volume della camera:cca. 185 litri

Erogazione del gas:4 canali gas via MFC

Generatore:1 pezzo (40 kHz)(opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Controllo:Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Caratteristiche:

• Desmearing di vari materiali (pulizia della parete del foro)
• Pulizia superficiale
• Attivazione di superfici metalliche
• 7 alloggiamenti per 7 lastre trattate simultaneamente
• Produzione pre-tagli a 460 x 610 mm

Sistema al plasma speciale Tetra-210-LF-PC

Dati tecniche:

Alloggiamento:L 1560 mm, A 2350 mm, P 1860 mm

Camera:L 1000 mm, A 200 mm, P 1400 mm

Volume della camera:cca. 210 litri

Erogazione del gas:2 Gaskanäle über MFCs

Generatori:1 pezzo generatore a pulsi1 pezzo (40 kHz)(opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Controllo:Controllo 

PC(Windows) con fieldbus industriale

Sistema al plasma speciale Tetra-240-LF-PC

Dati tecnici:

Alloggiamento: L 600 mm, A 1.700 mm, P 3.200 mm

Camera: L 305 mm, A 300 mm, P 2.600 mm

Volume della camera cca. 240 litri

Alimentazione gas: 3 canali gas con MFCs

Generatore: 1 pezzo (40 kHz) (Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)

Sistema di controllo: Controllo PC (Windows) con fieldbusindustriale

Sistema al plasma speciale Tetra-260-LF-PC

Dati tecnici:

Alloggiamento: L 2.500 mm, A 2.200 mm, P 1.000 mm

Camera: L 650 mm, A 500 mm, P 800 mm

Volume della camera cca. 260 litri

Erogazione del gas: 2 canali gas con MFC

Generatori: 10 pezzi (40 kHz) (Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)

Sistema di controllo: Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Sistema al plasma speciale Tetra-375-LF-PC

Dati tecnici:

Alloggiamento: L 600 mm, A 2.100 mm, P 800 mm

Camera: L 600 mm, A 360 mm, P 1.900 mm

Volume della camera: cca. 375 litri

Erogazione del gas: 2 canali gas con MFC

Generatori: 2 pezzi (ognuno da 40 kHz) (Opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Sistema di controllo: Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Sistema al plasma speciale Tetra-400-LF-PC

Dati tecnici:

Alloggiamento: L 600 mm, A 2.100 mm, P 650 mm

Camera: L 915 mm, A 750 mm, P 725 mm

Volume della camera: cca. 400 litri

Erogazione del gas: 3 canali gas con MFC

Generatori: 2 pezzi (ognuno da 40 kHz) (Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)

Sistema di controllo: Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Automatizzazione: Il sistema ha una porta a cassetto automatizzata

Sistema al plasma speciale Tetra-420-LF-PC-PCB

Dati tecnici:

Alloggiamento: L 1.600 mm, A 2.100 mm, P 1.200 mm

Camera: L 750 mm, A 800 mm, P 750 mm

Volume della camera: cca. 420 litri

Erogazione del gas: 4 canali gas con MFC

Generatori: 4 pezzi (ognuno da 40 kHz) (Opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Sistema di controllo: Controllo PC (Windows) con fieldbus indutriale

Sistema al plasma speciale Tetra-575-LF-PC

Dati tecnici:

Alloggiamento: L 1.150 mm, A 1.900 mm, P 1.600 mm

Camera: L 600 mm, A 1.200 mm, P 800 mm

Volume della camera: cca. 575 litri

Alimentazione gas: 2 canali gas con MFC

Generatori: 1 pezzo (ognuno da 40 kHz) (Opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Sistema di caricamento: fino a 22 vassoi (variabili)

Sistema di controllo: Controllo PC (Windows)

Sistema al plasma speciale Tetra-600-LF-PC

Dati tecnici:

Alloggiamento:L 600 mm, A 2200 mm, P 1200 mm

Camera:L 810 mm, A 810 mm, P 925 mm

Volume della camera:cca. 600 litri

Erogazione del gas:2 canali gas via MFC

Generatori:2 pezzi (ognuno da 40 kHz)(opzione: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Steuerung:Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Sistema al plasma speciale Tetra-600-LF-PC Version 1

Dati tecnici:

Alloggiamento:L 600 mm, A 2200 mm, P 800 mm

Camera:L 1000 mm, A 1000 mm, P 600 mm

Volume della camera:cca. 600 litri

Erogazione del gas:2 canali gas MFC

Generatori:2 pezzi (ognuno da 40 kHz)(opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Automatizzazione:11 piani / portacampioni

Controllo:Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Il sistema da produzione Tetra-600-LF-PC, con la sua camera da 600 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etching).

Sistema al plasma speciale Tetra-600-LF-PC Version 2

Dati tecnici:

Alloggiamento: L 1.800 mm, A 1.800 mm, P 800 mm

Camera: L 580 mm, A 730 mm, P 1.000 mm, Portello con 2 oblò

Volume della camera: cca. 600 litri

Erogazione del gas: 2 canali gas con MFC

Generatore: 1 pezzo 40 kHz, adattamento di impedenza automatica

Sistema di controllo: Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Sistema al plasma speciale Tetra-600-LF-PC con tamburo rotante Version 1

Dati tecnici:

Alloggiamento: L 600 mm, A 2.200 mm, P 800 mm

Camera: Ø 1.100 mm, P 700 mm

Volume della camera: cca. 600 litri

Erogazione del gas: 2 canali gas con MFC

Generatore: 2 pezzi (ognuno da 40 kHz) (Opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Sistema di caricamento: Tamburo rotante (con 4 cesti per 30 litri)

Sistema di controllo: Controllo PC (Windows) con fieldbus indutriale

Sistema al plasma speciale Tetra-600-LF-PC con tamburo rotante Version 2

Dati tecnici:

Alloggiamento: L 1.000 mm, A 2.200 mm, P 1.800 mm

Camera: Ø 1.000 mm, P 750 mm, Portello con 2 oblò

Volume della camera: cca. 600 litri

Erogazione del gas: 2 canali gas con MFC

Generatori: 4 pezzi (ognuno da 40 kHz) adattamento di impedenza automatica

Sistema di controllo: Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

l sistema da produzione Tetra-600-LF-PC, con il suo volume da 600 litri di volume, con controllo basato su PC e con tamburo rotante viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).

Sistema al plasma speciale Tetra-850-LF-PC 

Dati tecnici:

Alloggiamento:L 1500 mm, A 2000 mm, P 800 mm

Camera:L 1300 mm, A 1800, P 400

Volume della camera:cca. 850 litri

Erogazione del gas:2 canali gas via MFC

Generatore:1 pezzo (40 kHz)

Sistema di controllo:Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Sistema al plasma speciale Tetra-1200-LF-PC 

Dati tecnici:

Alloggiamento:L 1000 mm, A 1000 mm, P 1800 mm

Camera:L 600, A 1000 mm, P 2000 mm

Volume della camera:cca. 1200 litri

Erogazione del gas:2 canali gas via MFC

Generatori:3 pezzi (ognuno da 40 kHz)

Sistema di controllo:controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Sistema al plasma speciale Tetra-1600 

Dati tecnici:

Camera:L 900, A 700 mm, P 2600 mm

Volume della camera:cca. 1600 litri

Sistema al plasma speciale Tetra-3000-LF-PC

Dati tecnici:

Alloggiamento 1:L 1200 mm, A 2100 mm, P 600 mm

Alloggiamento 2:L 600, A 2200 mm, P 800 mm

Camera:L 1200 mm, A 1700 mm, P 1510 mm

Volume della camera:cca. 3000 litri

Erogazione del gas:2 canali gas con MFC

Generatori:4 pezzi (ognuno da 40 kHz)(opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Sistema di controllo:Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Sistema al plasma speciale Tetra-4400-LF-PC

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Dati tecnici:

Alloggiamento: L 1.800 mm, A 1.000 mm, P 800 mm

Camera: L 1.350 mm, A 2.600 mm, P 1250mm

Volume della camera: ca. 4.400 litri

Erogazione del gas: 3 canali gas con MFC

Generatori: 4 pezzi (ognuno da 40 kHz) (Opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Sistema di controllo:

Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Caratteristiche: generatore di ossigeno, generatore di plasma per la pulizia delle pompe a palette

Sistema al plasma speciale Tetra-5600-LF-PC

Dati tecnici:

Alloggiamento: L 1.800 mm, A 2.200 mm, P 1.800 mm

Camera: L 2.250 mm, A 2.450 mm, P 1.000 mm

Volume della camera: cca. 5.600 litri

Erogazione del gas: 3 canali gas con MFC

Generatori: 6 pezzi (ognuno da 40 kHz) (Opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Sistema di caricamento: Riempimento tramite carrelli (Opzionale: tamburo speciale)

Sistema di controllo: Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Sistema al plasma speciale Tetra-7000-LF-PC

Dati tecnici:

Alloggiamento: L 2.400 mm, A 2.300 mm, P 1.000 mm

Camera: L 2.400 mm, A 2.100 mm, P 1.400 mm

Volume della camera: ca. 7.000 litri

Erogazione del gas: 3 canali gas con MFC

Generatore: 4 pezzi (ognuno da 40 kHz) (Opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Sistema di controllo: Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Sistema al plasma speciale Tetra-7300-LF-PC

Dati tecnici:

Alloggiamento:L 600 mm, A 2100 mm, P 1200 mm

Camera:L 1400 mm, A 2100 mm, P 2500 mm

Volume:cca. 7300 litri

Erogazione del gas:2 canali gas con MFC

Generatori:3 pezzi (ognuno da 40 kHz)(opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Sistema di controllo:Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Sistema al plasma speciale Tetra-7500-LF-PC

Dati tecnici:

Alloggiamento: L 3.000 mm, A 2.000 mm, P 1.000 mm

Camera: L 1.500 mm, A 2.500 mm, P 2.000 mm

Volume della camera: cca. 7.500 litri

Erogazione del gas: 2 canali gas con MFC

Generatori: 6 pezzi (ognuno da 40 kHz) (Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)

Sistema di controllo: Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Sistema al plasma speciale Tetra 8000-LF-PC

Dati tecnici:

Alloggiamento: L 2.000 mm, A 1.800 mm, P 1.000 mm

Camera: L 1.700 mm, A 1.700 mm, P 2.800 mm, A 1.700 mm

Volume della camera: ca. 8.000 litri

Erogazione del gas: 2 canali gas con MFC

Generatori: 4 pezzi (ognuno da 40 kHz) (Opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Sistema di controllo: Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale