Il sistema di produzione Tetra 2800-LF-PC con la camera da vuoto di 2.800 litri e il controllo PC viene usato principalmente nella produzione di serie (pulizia, etching e attivazione):
Dati techniche:
Alloggiamento:L 600 mm, A 1700 mm, P 800 mm
Camera:∅ 1200 mm, P 2500 mm
Volume della camera:cca. 2800 litri
Erogazione del gas:3 canali via MFC
Generatore:1 pezzo (40 kHz)(opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)
Comando:Controllo PC (Windows) con filed bus industriale.
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