L'impianto da laboratorio plasma system ZEPTO da 2,6 litri con controllo semiautomatico viene impiegato prevalentemente nei seguenti settori:
- analitica (SEM, TEM)
- tecnica medica
- sterilizzazione
- ricerca e sviluppo
- archeologia
- tecnica tessile tecnica dei semiconduttori
- tecnica delle materie plastiche
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Brochure Zepto
Attrezzatura di base
- I casi variano a seconda dei componenti/delle opzioni
- Volume della camera: a seconda della versione 1,7 - 2,6 litri
- Alimentazione: 230 V
Erogazione del gas
- Valvole ad ago
- Mass-Flow-Controller (MFC)
Camere a vuoto
- Quarzo (UHP) - rotonda con copercchio (ca. Ø 105 mm, L 200 mm o L 300 mm)
- Vetro borosilicato (UHP) - rotonda con copercchio (ca. Ø 105 mm, L 200 mm o L 300 mm)
Caricamento
- Supporto: lamiera di alluminio, lamiera d'acciaio inossidabile, vetro borosilicato, quarzo
Elettrodi
- A strato singolo o più strati
Controllo
- Manuale
- Comando PCCE (Microsoft Windows CE)
- Comando PC (Microsoft Windows XPe)
Misurazione di pressione
- Pirani
Timer
- Digitale
Generatori
Frequenze: | 40 kHz: Potenza 0 - 100 W |
13,56 MHz: Potenza 0 - 50 W |
Pompe da vuoto
- in diversi formati da produttori diversi (su richiesta con filtro a carbone attivo)
Altre opzioni
Ersatzteilsets, Druckmessgerät, Korrosivgasausführung, Gasflaschen, Druckminderer, Faraday Box, Plasmapolymerisationszubehör, Testtinten, Sauerstoffgenerator, langsame Belüftung, langsames Abpumpen, Wartung/Service, Dokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung. Altre opzioni su richiesta.