L'impianto è composto da tre unità:
1. Unità di alimentazione
- allacciamento alla rete elettrica
- allacciamento al gas di processo e di raffreddamento
- generatore alta tensione
- blocco amperometro
- blocco controllo del gas
- pannello frontale di controllo operazioni
2. Tubazioni flessibili di alimentazione gas e corrente elettrica
3. Generatore del plasma: gli elettrodi centrali, gli elettrodi esterni e l'isolatore formano una zona di scarica.
- Il generatore di alta tensione trasforma la tensione di rete in alta tensione (fino a 10 kv), la quale è necessaria alla formazione della scarica elettrica.
- L'alta tensione e il gas di processo vengono condotti nella zona di scarica attraverso i tubi flessibili.
- La corrente d'aria fa uscire dalla zona di scarica le specie attive prodotte nell'arco voltaico (i+, e-, r*).
- La forma specifica dell'ugello focalizza il flusso di gas attivo sulla parte da trattare.