Impianto NANO UHP per noleggio
Plasma system NANO UHP, impianto di piccole dimensioni, con i suoi 18 litri di volume camera e controllo semiautomatico, si presta ad applicazione in particolare nei seguenti settori:
Poiché questo impianto non contiene acciaio inossidabile, è particolarmente adatto ad applicazioni, nelle quali tracce di cromo, nichel e ferro sono inconvenienti. |
Brochure NANO
UHP è acronimo di Ultra High Purity. Questa designazione si applica alle camere in vetro dei nostri sistemi al plasma, che possono essere a secondo delle esigenze del cliente in vetro borosilicato o vetro di quarzo. L'opzione UHP è disponibile solo per le seguenti unità: Femto, Pico e Nano.
Le camere di vetro vengono utilizzate in sistemi a microonde e/o nelle applicazioni in cui è richiesta una superficie ultrapura. Le camere normali in acciaio inossidabile o alluminio possono lasciare tracce in quantità minime di metallo, come tutti i metalli in un sistema plasma, compreso i pezzi da trattare. Per la maggior parte dei processi questo processo non è importante e assolutamente trascurabile. Le parti in alluminio del sistema UHP sono rivestite con Al2O3. Poiché il sistema non ha una camera a vuoto in acciaio inossidabile, è adatta per applicazioni in cui tracce di cromo, nichel e ferro influenzano negativamente.
Caratteristiche tecniche:Quadro elettrico: largh. 580 mm, alt. 650 mm, prof. 600 mm Camera: Ø 240 mm, lungh. 400 mm (Optional: lungh. 600 mm) Materiale: quarzo o vetro borosilicato Parete anteriore e posteriore della camera: alluminio Volume della camera: ca. 18 litri Alimentazione gas: 2 canali gas con valvola a spillo Generatore: 40kHz/300 W, variabile (Optional: 13,56 MHz o 2,45 GHz) Pompa per vuoto: Leybold, Tipo D8B (8 m³/h) Sistema di caricamento: Vassoio 1 pz. Sistema di controllo: semiautomatico, tempo di processo regolato da temporizzatore |