I nostri sistemi al plasma sono disponibili con le opzioni/gli accessori seguenti, che nella maggior parte dei casi possono anche essere montati successivamente alla fornitura iniziale:
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Quarzglasboot
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RIE-Elektrode mit Gasdusche
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Testtinten-Set
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Druckminderer
Opzioni e accessori per sistemi al plasma
Generatore di 2,45 GHz (microonde)
La potenza varia da 0 a 300 watt, il generatore dispone di un'interfaccia PC. Le principali applicazioni sono attivazione, pulizia, etching, semiconduttori (front-end), semiconduttori (back-end), polimerizzazione al plasma.
Generatore di 13,56 MHz
Per ottemperare alla norma DIN EN 55011, i nostri generatori di 13,56 MHz sono stabilizzati al quarzo. L'adattamento di impedenza può essere fisso, manuale o automatico. Le principali applicazioni sono attivazione, pulizia, etching, semiconduttori (front-end), semiconduttori (back-end), polimerizzazione al plasma.
Generatore di 40 kHz
L'adattamento di impedenza è possibile solo automaticamente, la potenza è disponibile in due versioni. Le principali applicazioni sono attivazione, pulizia, etching, semiconduttori (back-end), polimerizzazione al plasma.
Valvola a 2/2 vie per il dosaggio di liquido
Valvola per il dosaggio mirato di monomeri.
Filtro a carbone attivo
Il filtro al carbone può essere facilmente sostituito.
Filtro di aspirazione per il vuoto
Protegge la pompa da vuoto da parti volanti, rivestimento e contaminazione.
Porta automatica
Una porta, che si chiude automaticamente all'avvio del processo.
Lettore di codice a barre
Per tracciare i lotti
Camera riscaldata
La camera può essere riscaldata fino a circa 80 °C. La temperatura può essere controllata. Viene usata per condizioni di processo definite e tassi più elevati di incisione.
Misura della tensione bias
La misura della tensione bias è un dispositivo di misurazione ed è disponibile per i generatori di kHz e MHz.
Bottiglia vaporizzatore
La bottiglia vaporizzatore fa parte degli accessori di polimerizzazione ed è richiesta per il collegamento di monomeri liquidi nella camera del vuoto. Invece di una semplice bombola di monomero si lavora con un gas di trasporto. Il gas di trasporto, per esempio argon viene lavato con monomero.
Valvola a farfalla
Per il controllo del flusso di gas nella tecnica da vuoto viene usata una valvola a farfalla, soprattutto nel condotto di aspirazione di una pompa a vuoto. A tal fine, la resistenza al flusso della linea viene variata regolando un lembo che può chiudere o meno il condotto.
Documentazione nella lingua nazionale
La documentazione è creata in base alla Direttiva sulle macchine industriali 89/392/CEE. Questa specifica non si riferisce al tedesco e all'inglese. La documentazione non viene aggiunta automaticamente al sistema e deve essere ordinata
Tamburo rotante
Tipo di supporto pezzi per l'uso con solidi.
Manometri
Sensore Pirani o Baratron - indicazione della pressione nella camera a vuoto.
Riduttore di pressione
Il riduttore di pressione per il collegamento alla bombola - 200 bar. Vari gas hanno bisogno di riduttore di pressione differenti. Quindi essiste uno per gas nobili H2, O2, CF4, C4F8 e uno per NH3.
Sistemi continui
Per integrare un sistema di plasma a bassa pressione in una linea di lavorazione automatica.
Kit di ricambi standard o PFPE
Il kit di ricambi comprende 1 anello di serraggio, 1 guarnizione, 1 tubo flessibile ondulato in acciaio inox (tubo di aspirazione), 1 rondella da finestra, 1 guarnizione della porta, 10 pezzi guarnizione per il sistema al plasma, così 1 litro di olio minerale per la pompa del vuoto (nel kit standard) e 1 olio litro PFPE per la pompa del vuoto (nel kit PFPE).
Stampante di etichette
Stampa automatica di etichette dopo il trattamento al plasma.
Lettore di etichette
Per la tracciabilità dei lotti.
Scatola/gabbia di Faraday
Per i componenti elettrici sensibili. I componenti da trattare si trovano all'interno della gabbia di Faraday. Questi possono essere rimossi dalla camera a vuoto.
Supporto per bottiglia di gas
Da montare sul tavolo di lavoro, ai scaffali o alla parete. L'apertura alare è di 70 mm. La cinghia si attacca senza gioco. E' adatto a tutti i formati di bottiglia.
Rilevatore di gas
Opzioni di sicurezza aggiuntive quando si utilizza gas infiammabile nei luoghi di lavoro.
Controllo semi-automatico
Una descrizione dettagliata delle nostre diverse varianti di controllo si trova sotto la voce di menu Sistemi al plasma/Controlli/Controllo semi-automatico.
Piastre di riscaldamento
Le parti da trattare si trovano sulla piastra di riscaldamento. Questa può essere riscaldata fino a max. 150 °C ed è adatta per condizioni di processo definiti e tassi di etching superiori. Ci sono due opzioni:
Dotata di display della temperatura, un sensore di temperatura è montato in modo che la temperatura della superficie del componente può essere misurata all'interno della camera a vuoto. Dotata di display della temperatura integrato nel controller PC, è collegata una termocoppia e quindi la temperatura della superficie del componente viene misurata all'interno della camera a vuoto. La temperatura viene visualizzata sullo schermo.
L'installazione del vostro impianto al plasma
Questa opzione include tempo e spese di viaggio e tempo di lavoro dei nostri dipendenti del dipartimento di service.
Ambiente di utilizzo corrosivo
Valvole in acciaio inox, tubi in acciaio inox. Obbligatorie per la polimerizzazione al plasma o durante l'uso di gas corrosivi quali NH3, H2O, CF4, SF6.
Supporti personalizzati per componenti
Le nostre unità sono previste come impostazione predefinita con un supporto per pezzi. Ulteriori o altre versioni - per l'utilizzo ottimale del sistema al plasma - possono essere effettuate, previa consultazione con Diener elettronic.
Vernice a spray / Set lastre di vetro (test LABS-free)
Accessori per lo svolgimento delle prove di bagnabilità delle vernici. Consegna: Vernice a spray, 5 pezzi da 400 ml. Lastre di vetro, 100 pezzi, ognuna 90 mm x 110 mm.
Ventilazione lenta della camera a vuoto
La camera a vuoto viene ventilata mediante un filtro lento. In questo modo si previene la filatura di piccole parti nella camera.
Pompaggio lento della camera a vuoto
Pompaggio lento della camera a vuoto attraverso la valvola di bypass. In questo modo si previene la filatura di piccole parti nella camera.
Camere a vuoto di grandi dimensioni (Femto, Pico, Nano, ...)
Le camere a vuoto sono disponibili in acciaio inox, vetro borosilicato o vetro di quarzo. La chiusura della camera può essere selezionata tra coperchio e porta a battente. La lunghezza delle camere a vuoto dipende dai requisiti dell'applicazione al plasma. Consultateci. Sapremo trovare insieme la soluzione migliore per le vostre esigenze.
Indicatore di performance
Visualizza l'uscita del generatore. Strumento di visualizzazione analogico.
Elettrodo a strati
Il multiplo-elettrodo è disponibile per le camere a vuoto rotonde e/o rettangolari. Alcune parti possono essere trattate in una sola volta. La gamma di applicazione sono i processi al plasma standard. Si prega di consultare Diener electronic per la costruzione esatta del vostro elettrodo e altri materiali per la fabbricazione del supporto per i componenti.
Tester di microonde
Nei sistemi a microonde, a causa della radiazione pericolosa, può essere utile installare un tester per registrare la perdita di microonde.
Bottiglia con monomero
Accessorio per la polimerizzazione. Per il collegamento di monomeri liquidi nella camera da vuoto.
Connessione di rete
Consente di collegare il sistema ad un computer.
SEO - Spettrometro di emissione ottico
Monitoraggio del processo al plasma per la garanzia della qualità. Rilevamento del punto finale del processo al plasma. SEO solo in combinazione con un sistema controllato da PC.
Controllo PC
Una descrizione dettagliata delle nostre diverse varianti di controllo si trova sotto la voce di menu Sistemi al plasma/Controlli/Controllo PC.
Controllo PCCE
Basato sul touch panel Windows CE. Una descrizione dettagliata delle nostre diverse varianti di controllo si trova sotto la voce di menu Sistemi al plasma/Controlli/Controllo PCCE.
Accessori per la polimerizzazione
Include bottiglia vaporizzatore, una bilancia, pompa di misurazione, riscaldamento, possibilmente staffa
Bombola con gas di processo
Bombola di ossigeno per il collegamento di gas di processo da 2, 5 e 10 litri, bombola di idrogeno da 2 litri, bombola di argon da 5 litri. Per la fornitura di gas devono essere rispettate delle condizioni di trasporto particolari. Per le unità a noleggio, la bombola con il gas di processo deve essere acquistata.
Recipiente a quarzo
Disponibile in due dimensioni. Per i processi al plasma ad alta purezza o trattamenti di wafer
Elettrodo RIE
È disponibile in forma circolare e rettangolare in acciaio inox, raggiunge tassi più elevati etching. Il campo di applicazione è nei processi di etching anisotropi e isotropi.
Elettrodo RIE con doccia a gas
Acciaio inox rettangolare. Raggiunge tassi di etching più elevati attraverso distribuzione omogenea del gas. Il campo di applicazione è nei processi di etching anisotropi.
Sistema Roll to roll
Ad esempio per il trattamento di film / telai di piombo.
Generatore di ossigeno
L'ossigeno è generato dall'aria ambiente. Tipo Kröber O2. Debito di ossigeno: 3-6 l/min.
Valvola di sicurezza
Per l'utilizzo con gas infiammabili come idrogeno, acetilene...
Elettrodi e supporti speciali
Si prega di consultare Diener electronic per la costruzione esatta del vostro elettrodo e altri materiali per la fabbricazione del supporto per i componenti.
Flange speciali / flange supplementari
Delle flange speciali vengono utilizzate quando sono richieste più connessioni rispetto allo standard.
Camere a vuoto speciali
Nei nostri sistemi è stata eseguita la misurazione dell'irradianza UV secondo DIN 12198 (vetro di osservazione). Risultato: sicuro. Camere a vuoto speciali sono disponibili nelle versioni con coperchio, rettangolari e porta a battente. Esse sono realizzate in alluminio e si differenziano anche per il diametro dell'apertura e la dimensione interiore. Consultateci. Sapremo trovare insieme la soluzione migliore per le vostre esigenze.
Elettrodo circolare o rettangolare standard
Foglio acciaio inox/alluminio per processi al plasma standard.
Porta-campione SEM
Mezzi speciali per l'inserimento dall'esterno nella camera di plasma. Può essere realizzato in ogni dimensione. Fateci sapere le dimensioni/i disegni delle vostre parti.
Indicatore di temperatura
Display della temperatura nella camera senza piastra di riscaldamento. All'interno della camera a vuoto, è montato un sensore termico. Quindi, è possibile misurare la temperatura della superficie del componente. Il display della temperatura è integrato anche nel controllo PC. Qui la temperatura è visualizzata sullo schermo.
Set inchiostri di prova
Inchiostri di prova per una facile analisi della tensione superficiale. In un unico blocco sono inclusi gli inchiostri per 28, 38, 56, 64, 72 e 105 mN/m. Altri valori sono disponibili su richiesta.
Evaporatore termico
Per le sostanze aventi una bassa pressione di vapore. Diametro del recipiente: 16 mm, Il volume del recipiente: 0,1 l. Protezione contro l'esposizione al plasma, controllo della temperatura (max. 500 °C) e velocità di aumento della temperatura (fino a 250 °C/min). Il collegamento è realizzato con piccole flange passanti.
Camere a vuoto in vetro (borosilicato o quarzo)
Per i processi al plasma ad alta purezza, le camere a vuoto sono in vetro borosilicato. Per i processi ad ultra-alta purezza, le camere a vuoto sono in vetro di quarzo.
Camere a vuoto in acciaio inox
Per i processi al plasma standard, le camere a vuoto sono in acciaio inox.
Stazioni di pompaggio a vuoto
Pompa a palette rotativa o pompa con funzionamento a secco con olio minerale o olio PFPE. Le pompe vengono fornite con olio.
Controllo completamente automatico
Una descrizione dettagliata delle nostre diverse varianti di controllo si trova sotto la voce di menu Sistemi al plasma/Controlli/Controllo automatico.
Apparecchiatura per il trattamento della polvere
La polvere viene trattata in una bombola gas rotante. Per riempirla, la bombola può essere estratta dal sistema.
Sacchetto per lavaggio
Per la pulizia preliminare delle piccole parti in lavatrice. Dimensioni: 500 mm x 300 mm. Quantità minima: 20 pezzi.
Raffreddamento ad acqua
Dispositivo per raffreddamento ad acqua e aria con ruote per uso mobile. Collegamento con 2 contatti a potenziale zero per il circuito di protezione della pompa
Preventivo per la manutenzione del sistema al plasma
L'offerta di servizi di Diener elettronic è completa. Cambio olio, controllo di tutti i collegamenti, guarnizioni, connettori, ecc, test di velocità delle perdite, calibrazione del sensore di pressione e un test di funzionamento. Per ulteriori informazioni su operazioni di manutenzione e assistenza cliccare sulla voce di menu "Informazioni/Service".
Asciugatrice
Per la pulizia iniziale di piccole parti prima del trattamento al plasma. Operazione necessaria solo per le parti molto sporche. Produttore: Miele: Tipo WT 2670 WPM.
Piastra supporto pezzi raffreddata ad acqua
La piastra raffreddata ad acqua è montata sul fondo della camera ed è fornita con pompa e serbatoio d'acqua. La piastra viene usata per il raffreddamento dei componenti sensibili al calore.
Altre funzioni del software
Il software può sempre essere sviluppato per ulteriori opzioni. Fateci sapere le vostre esigenze.
Canali di gas aggiuntivi
Valvole a spillo: I nostri sistemi possono essere dotati di un numero qualsiasi di valvole a spillo. Per il tipo di sistema al plasma Femto sono 1 - 3 pezzi standard, più canali sono disponibili su richiesta.
MFC aggiuntivi
MFC: Obbligatori per il controllo PC e PCCE. I nostri sistemi possono essere equipaggiati con qualsiasi numero di controllori di flusso di massa (MFC).
