Far aderire le particelle (molecole) di una fase alla superficie di un solido. Le particelle vengono trattenute dai meccanismi di adsorbimento fisico e chemisorbimento, , il chemisorbimento causa energie di legame molto più forti.
L'adsorbimento su una superficie è possibile solo se le fasi possono entrare in contatto diretto, in particolare gli strati intermedi di separazione devono essere rimossi. La pulizia fine con il plasma offre le migliori opportunità. Con i processi di etching al plasma e attivazione al plasma, l'assorbimento può essere aumentato, con il rivestimento al plasma con strati adatti.
Si fa una distinzione con l'assorbimento. L'assorbimento si riferisce all'incorporamento di particelle di una fase nel volume di un'altra fase