Anisotropo significa diverso in diverse direzioni spaziali. A differenza isotropa (in tutti i sensi uguale). Un materiale avente proprietà anisotrope, se sono differenti in differenti direzioni, ad esempio la rigidità o la conducibilità.
L'effetto plasma può essere isotropo regolata o anisotropico. Soprattutto durante l'attacco di microstrutture una forte anisotropia è desiderato, cioè una forte direzione preferenziale della velocità di attacco. Effetti anisotropi hanno particolare attacco fisico (ion etching, RIE).
