Termine italiano: "Incenerimento". Riduzione dei livelli di idrocarburi con un etching al plasma. I polimeri sono suddivisi in frammenti, essi stessi gassoso o reagire con specie attive del plasma a molecole gassose che vengono aspirati dalla pompa a vuoto. Importanza industriale specialmente per i fotoresist nella tecnologia dei semiconduttori.
