Chiamato anche "reattore a tubo o tunnel". Sistema al plasma cilindrico, che viene attraversato in direzione assiale dal gas di processo. In caso di eccitazione RF per irraggiamento MHz un elettrodo viene usato come cilindro, che viene costruito secondo al centro del cilindro. Questo secondo elettrodo viene generalmente utilizzato come vettore merce. Questa struttura del reattore viene preferibilmente utilizzata per incisione al plasma, in cui il bombardamento ionico diretto sul substrato deve essere evitato. Nel processo di etching al plasma in un reattore a tamburo con l'eccitazione a MHz sono raggiunti elevati tassi di attacco.
