Gli atomi entrano in legami chimici, perché nello stato legato presentano un livello di energia più basso. Ciò è dovuto al fatto che nel legame gli elettroni di valenza di un partner legante possono passare sulle posizioni libere con un livello di energia inferiore del partner di legame. Se il legame sta per essere distrutto, i partner di legame devono fornire l'energia necessaria al fine di portarli al livello di energia nello stato libero. Questa energia di legame è espressa in unità di [kJ/mol].
L'energia sufficiente per separare i legami molecolari può essere alimentata da un forte riscaldamento o mediante radiazioni UV ad alta energia. Questa radiazione UV viene generata nel plasma. Attraverso la radiazione UV del plasma, i legami molecolari sono rotti e si formano dei radicali.