CF4

Tetrafluorometano, in particolare noto con il nome commerciale di Freon 14 (DuPont). CF4 è un gas di processo frequente usato per processi di rivestimento attraverso la polimerizzazione al plasma. Viene utilizzato per produrre superfici fluorurati, soprattutto durante la epilamisazione, la preparazione di una superficie perfluorurata.