L'aumento della temperatura di polimerizzazione crea l'opposizione al processo nelle materie plastiche (degradazione termica). Durante la rottura, dai diversi polimeri, sulla superficie, si formano sia i loro monomeri originali o altri prodotti di degradazione.
Anche dopo la pulizia al plasma e l' etching avviene la depolimerizzazione al stato di monomero. I prodotti di decomposizione reagiscono con le specie attive del gas di processo fino a creare molecole volatili.
