Il tipo più comune di pompa nella tecnologia del vuoto e anche nellatecnologia al plasma è la pompa a palette lubrificata ad olio meccanica. Con il suo impiego possono essere realizzate pressioni da pressione atmosferica a 10-3mbarpossono essere realizzati. Se si desidera creare vuoto ultra-alto, di solito si usa una pompa a palette per generare il pre-vuoto.
