Dry

Termine inglese di "secco". In combinazione con la tecnologia al plasma, questo termine indica che i processi di superficie hanno luogo a secco e non con l'uso di di sostanze chimiche (acidi, basi, solventi).

Dryasher (essiccazione a secco), drycleaner (lavaggio a secco), dryetcher (incisione a secco) ed il forno a secco sono quindi le varianti per dispositivi impiegati nella modifica a secco di materiali per mezzo di tecnologia al plasma.

I processi a secco hanno il vantaggio che lo stoccaggio, la movimentazione e lo smaltimento di sostanze chimiche nocive per la salute e ambiente impiegate nel trattamento umido non sono più necessarie con il trattamento al plasma.

Anche se i processi a secco utilizzano spesso un tasso di trattamento molto inferiore, in particolare la velocità di etching, rispetto ai processi con sostanze chimiche, d'altra parte possono essere controllati molto finemente, in modo che sia possibile la regolazione parziale nell'ordine di strati atomici.