Un microscopio elettronico rileva la geometria di un campione non con l'impiego della luce visibile, ma con un fascio di elettroni. Poiché gli elettroni veloci hanno una lunghezza d'onda molto inferiore rispetto alla luce visibile e la risoluzione massima di un microscopio dipende direttamente dalla lunghezza d'onda, un microscopio elettronico è in grado di visualizzare strutture molto più piccole. Il limite di risoluzione di un microscopio elettronico è di circa 0,1 nm, mentre in un microscopio ottico è di 200 nm. I campioni per la microscopia elettronica sono spesso puliti con ilplasma. Diener electronic offre sistemi al plasma speciali per la microscopia elettronica (vedi ⇒ Sistema al plasma).
