Il colore di un plasma è dato da emissioni da atomi, ioni o molecole energicamente eccitati che si rilassano a stati energetici più bassi. Dal momento che i livelli di energia all'interno di ogni gas indica diverse transizioni di energia, ogni gas di processo mostra diverse emissioni tipiche e quindi diversi colori caratteristici. I colori tipici dei vari gas comunemente utilizzati nei processi al plasma sono i seguenti:
CF4: blu
SF6: blu chiaro
SiF4: azzurro
SiCl4: azzurro
Cl2: verde chiaro
CCl4: verde chiaro
H2: rosa
O2: giallo chiaro
N2: rosso-giallo
Br2: rossiccio
He: rosso-violetto
Ne: rosso mattone
Ar: rosso scuro
I colori del plasma non solo possono essere sfruttati per il riconoscimento del gas di processo, ma anche per valutare in modo qualitativo se il gas di processo è libero da impurità.
