Ionen, die aus eine Substratoberfläche prallen aber dort nicht chemisch reagieren, können dort physikalisch wirken, indem sie Atome und Moleküle von der Oberfläche absprengen. Dies können Bestandteil einer Oberflächenbeschichtung oder Verschmutzung oder des Substrats selbst sein. Die Wirkung ist wie beim Sandstrahlen mit einem Korn in atomaren Dimensionen.
