Durch Plasmabehandlung lassen sich viele Oberflächenbeschichtungen realisieren:
- Superharte, kratz- und abriebfeste DLC-Schichten
- PTFE-ähnliche durch Plasmapolymerisation
- Herstellung hydrophober Beschichtungen durch HMDSO
- Herstellung hydrophiler Beschichtungen mit Vinylacetat
- Epilamisierung durch Polymersation von Fluoridmonomeren (CF4)
- Oxidschichten zur Korrosionsvermeidung
- Beschichten durch Magnetron-Sputtern (PVD-Verfahren)
- Plasmaunterstütztes chemisches Dampfabscheideverfahren (PACVD, PECVD)
- Barriereschichten zur Vermeidung von Diffusion, Permeation
- dekorative Beschichtungen
