Verallgemeinerung der vier grundlegenden Plasmaprozesse:
- Reinigen:
durch Entfernung von Oberflächenschichten - Aktivieren:
durch Schaffung polarer Gruppen auf unpolaren Substraten - Ätzen:
Durch Abtrag von Substratmaterial - Beschichten:
Durch Polymerisation von Molekülen des Prozessgases
