Anhaften von Teilchen (Molekülen) einer Phase an der Oberfläche eines Feststoffes. Teilchen werden durch die Mechanismen der Physisorption und der Chemisorption festgehalten, wobei die Chemisorption wesentlich stärkere Bindungsenergien verursacht.
Die Adsorption an einer Oberfläche ist nur möglich, wenn die Phasen in direkten Kontakt treten können, wozu insbesondere trennende Zwischenschichten entfernt werden müssen. Feinstreinigung mit Plasma bietet dafür die besten Möglichkeiten. Durch Plasmaätzen und Plasmaaktivierung kann die Adsorption erhöht, durch Plasmabeschichten mit geeigneten Schichten verhindert werden.
Zu unterscheiden ist die Absorption. Unter Absorption versteht man die Einbettung von Teilchen einer Phase im Volumen einer anderen Phase.