Argon

Edelgas mit großer natürlicher Häufigkeit (fast 1% der Erdatmosphäre), das aufgrund seiner völligen chemischen Inertheit häufig als Schutzgas eingesetzt wird. In der Plasma-Reinigung und Plasma-Aktivierung häufig verwendetes Prozessgas, das mit dem Substrat keine chemische Reaktion eingehen kann, sich aber zum Abtragen von Verunreinigungen (->Mikrosandstrahleffekt), zum anisotropen physikalischen Ätzen (Ionenätzen IE) und zur Erzeugung von Radikalstellen auf organischen Polymeren eignet.