Durch Temperaturerhöhung ein der Polymerisation entgegengesetzt verlaufender Vorgang bei Kunststoffen (Thermischer Abbau). Beim Zerfall entstehen aus den verschiedenen Polymerisaten an der Oberfläche entweder ihre ursprünglichen Monomere oder andere Zersetzungsprodukte.
Auch bei der Plasmareinigung und Ätzung erfolgt eine Depolymerisation bis zum monomeren Zustand. Die Zersetzungsprodukte reagieren mit den aktiven Spezies des Prozessgases zu flüchtigen Molekülen.
