Abk. für "Electron Spectroscopy for Chemical Analysis", eine auch als IEE (Induced Electron Emission) od. XP(E)S (X-Ray induced Photoelcetron Spectroscopy = Röntgen-Photoelektronenspektroskopie) bezeichnete Technik, mit der Bindungszustände analysiert werden können. Die ESCA findet insbesondere Anwendung zur Analyse von Probenoberflächen (z. B. zur Bestimmung von Oxidationszuständen, wobei alle Elemente außer Wasserstoff und Helium analysierbar sind).
