Eine Niederdruck-Plasmaanlage besteht aus den folgenden Grundkomponenten:
Der Rezipient ist ein gasdichter Druckbehälter.
Um zu vermeiden, dass Komponenten des Rezipienten durch die Wirkung des Plasmas geätzt wird, bestehen diese aus Edelstahl oder hochreinem Quarzglas. Dies gilt ebenso für die Komponenten im Rezipienten: Elektroden, Warenträger, Sensoren.
Bestandteile des Rezipienten sind außerdem die elektronische Anlagensteuerung und alle Gas- und Abgasanschlüsse.
Zur Plasmaanregung stehen HF-Generatoren im LF-Bereich (40 kHz), RF-Bereich (13,56 MHz) und Mikrowellenbereich (2,45 MHz) zur Verfügung.
Die Pumpeneinheit kann Vor- und Hochvakuumpumpe, Filter, Schläuche und Messsensoren umfassen.
