Meist unerwünschte Diffusion einer Flüssigkeit oder eines Gases durch einen Feststoff. Durch Plasmabeschichtung können Permeations- Sperrschichten erzeugt werden (⇒ Barriere-Schichten).
Permeation

Meist unerwünschte Diffusion einer Flüssigkeit oder eines Gases durch einen Feststoff. Durch Plasmabeschichtung können Permeations- Sperrschichten erzeugt werden (⇒ Barriere-Schichten).