Gesamtanlage zur Durchführung einer Plasmabehandlung.
Sie umfasst immer:
- einen Plasmagenerator
- einen Plasmaerzeuger
- sowie Leitungen zur elektrischen Versorgung und Prozessgaszuführung zum Plasmaerzeuger
- und eine elektrische Steuerung
Plasmasystem
Besonderheiten Niederdruck-Plasmaanlage
Der Plasmagenerator ist ein Hochfrequenzgenerator.
Als weitere Komponenten des Plasmaystems wird eine druckfeste Plasmakammer und ein Vakuumsystem benötigt.
In Abhängigkeit von dem durchzuführenden Plasmaprozess kommen unterschiedliche Plasmaerzeuger zur Anwendung. Hochfrequenzelektroden (Plattenelektroden oder Rohrelektroden) oder ein Magnetron bei Anregung durch Mikrowellenstrahlung.
Optional kommen verschiedene weitere Komponenten zum Einsatz:
- Drucksensoren
- Regelventile
- Abgasfilter
- Elektrische Abschirmungen (Faradaykäfig)
- Polymerverdampfer
- Warenträger
Besonderheiten Atmosphärisches Plasma
Der Plasmagenerator ist ein Hochspannungsgenerator
Zur Plasmaanregung befinden sich im Plasmaerzeuger zwei Coronaelektroden, zwischen denen durch die Hochspannung eine Gasentladung gezündet wird.
Das Prozessgas wird unter Hochdruck zugeführt.
