Wafer sind Scheiben aus Halbleitermaterial als Grundmaterial für Halbleiter-Bauelemente. Die Wafer bestehen meist aus monokristallinem Silizium, selten aus polykristallinem Silizium, GaAs (Galliumarsenid) oder anderen Halbleitern.
Monokristalline Siliziumwafer sind kreisrund und entstehen, indem Silizium-Einkristalle in Scheiben geschnitten werden. Im Idealfall bestehen die Silizium-Einkristalle und daher die Wafer aus hochreinem Silizium, dessen Eigenschaften in weiteren Arbeitsschritten insbesondere durch Ätzen und Dotieren beeinflusst werden. Bei dieser Bearbeitung kommt vielfach die Plasmatechnik zum Einsatz.
