Optionen und Zubehör für Plasmaanlagen

Unsere Plasmaanlagen sind mit folgenden Optionen/Zubehör - welches in den meisten Fällen auch nachgerüstet werden kann - lieferbar:

2,45 GHz-Generator (Mikrowelle)

Die Leistung reicht von 0 - 850 Watt, der Generator verfügt über eine PC-Schnittstelle. Hauptanwendungsgebiete sind aktivieren, reinigen, ätzen, Halbleiter (front-end), Halbleiter (back-end), Plasmapolymerisation.

2/2 Wegeventil zur Flüssigkeitsdosierung

Ventil für die gezielte Dosierung von Monomeren.

Ansaugfilter für Vakuum

Schützt die Vakuumpumpe vor herum fliegenden Teilen, Beschichtung und vor Verschmutzung.

Barcodeleser

Zur Verfolgung der Chargen.

Beheizbare Kammer

Die Kammer kann bis ca. 80 °C beheizt werden. Die Temperatur ist regelbar. Sie ist für definierte Prozessbedingungen und höhere Ätzraten.

Biasspannungsmessung

Die Biasspannungsmessung ist ein Messgerät und für kHz- und MHz-Generatoren erhältlich.

Butterfly-Ventil

Ein Butterfly-Ventil wird zum Regeln eines Gasstroms eingesetzt, in der Vakuumtechnik vor allem innerhalb der Saugleitung einer Vakuumpumpe. Hierzu wird der Strömungswiderstand in der Leitung durch Verstellen einer Klappe, die die Leitung mehr oder weniger verschließen kann, verändert.

Dokumentation in der Landessprache

Die Dokumentation ist nach Maschinenrichtlinie 89/392/EWG erstellt. Dies gilt nicht für die Sprachen deutsch und englisch. Die Dokumentation ist der Anlage nicht automatisch beigefügt und muss separat dazu bestellt werden.

Drehtrommel

Warenträgerart zur Bestückung mit Schüttgütern.

Druckmessgeräte

Pirani-Sensor oder Baratron - Anzeige des Drucks in der Vakuumkammer.

Durchlaufanlagen

Zur Integration einer Niederdruckplasmaanlage in eine automatische Bearbeitungslinie.

Ersatzteilesatz Standard oder PFPE

Der Ersatzteilesatz beinhaltet jeweils 1 Spannring, 1 Dichtung, 1 Edelstahl-Wellenschlauch (Vakuumschlauch), 1 Fensterscheibe, 1 Türdichtung, 10 St. Feinsicherungen für die Plasmaanlage, sowie beim Standard-Satz 1 Liter Mineralöl für die Vakuumpumpe und bei dem PFPE-Satz 1 Liter PFPE-Öl für die Vakuumpumpe.

Etikettendrucker

Automatischer Ausdruck von Etiketten nach der Plasmabehandlung.

Etikettenleser

Zur Verfolgung von Chargen.

Gasflaschenhalter

Am Arbeitstisch, an Regalen oder Wandleisten zu befestigen. Die Spannweite beträgt 70 mm. Der Spanngurt sichert ohne Spielraum. Er ist für alle Flaschengrößen geeignet.

Gaswarngerät (Dräger)

Zusätzliche Sicherungsoption bei Verwendung von entzündlichen Gasen an Arbeitsplätzen.

Halbautomatische Steuerung

Eine ausführliche Beschreibung unserer verschiedenen Steuerungsvarianten finden Sie unter dem Menüpunkt Plasmaanlagen/Steuerung/halbautomatische Steuerung.

Installation Ihrer Plasmaanlage vor Ort

Diese Option beinhaltet die Reisezeit, die Arbeitszeit sowie die Reisekosten unseres Servicemitarbeiters.

Korrosivgasausführung

Ventile aus Edelstahl, Verrohrung aus Edelstahl. Zwingend erforderlich bei Plasmapolymerisation oder beim Einsatz klorrosiver Gase wie NH₃, H₂O, CF₄, SF₆.

Kundenspezifische Warenträger

Unsere Anlagen werden standardmäßig immer mit einem Warenträger ausgeliefert. Weitere oder andere Ausführungen - zur optimalen Nutzung der Plasmaanlage - können nach Rücksprache mit Diener electronic gefertigt werden. 

Lackspray / Glasplatten-Set (LABS-frei Test)

Zubehör zur Durchführung des Lack-Benetzungs-Störungs-Tests. Lieferumfang: Lackspray in Dosen, 5 Stück je 400 ml. Die Glasplatten 100 Stück, je 90 mm x 110 mm.

Langsame Belüftung der Vakuumkammer

Die Vakuumkammer wird mittels eines Filters langsam belüftet. Es wird das Herumwirbeln von kleinen Bauteilen in der Kammer verhindert.

Langsames Abpumpen der Vakuumkammer

Langsames Abpumpen der Vakuumkammer durch Bypass-Ventil. Es wird das Herumwirbeln von kleinen Bauteilen in der Kammer verhindert.

Längere Vakuumkammern (Femto, Pico, Nano, ...)

Vakuumkammern sind in Edelstahl, Borosilikatglas oder Quarzglas lieferbar. Der Kammerverschluss kann dabei zwischen Deckel und Tür mit Scharnier gewählt werden. Die Länge der Vakuumkammern ist von Ihren Anforderungen an die Plasmaanwendung abhängig. Sprechen Sie uns an.

Leistungsanzeige

Anzeige der Leistung des Generators. Analoganzeige-Instrument.

OES - Optisches Emissionsspektrometer

Überwachung des Plasmaprozesses zur Qualitätssicherung. Detektion des Endpunktes des Plasmaprozesses. OES nur in Verbindung mit einer PC-gesteuerten Anlage.

PCCE-Steuerung

Auf Basis von Windows CE mit Touchpanel. Eine ausführliche Beschreibung unserer verschiedenen Steuerungsvarianten finden Sie unter dem Menüpunkt Plasmaanlagen/Steuerung/PCCE-Steuerung.

Polymerisationszubehör

Beinhaltet Verdampferflasche, eine Waage, Dosierpumpe, Heizung, evtl. Halterung.

Prozessgas-Flasche

Sauerstoff-Flasche zum Anschließen als Prozessgas in 2, 5 und 10 Liter, Wasserstoff-Flasche in 2 Liter, Argon-Flasche in 5 Liter. Für die Lieferung von Gasen sind spezielle Transportbedingungen zu berücksichtigen. Bei Mietanlagen muss die Flasche gekauft werden.

RIE-Elektrode

Gibt es in rund und rechteckig aus Edelstahl, erzielt höhere Ätzraten. Anwendungsgebiet ist anisotropes und isotropes Ätzen.

Sicherheitsventil

Für den Betrieb mit brennbaren Gasen wie z.B. Wasserstoff, Ethin ...

Sonderelektroden und Warenträger

Bitte halten Sie Rücksprache mit Diener electronic bezüglich der genauen Konstruktion Ihrer individuellen Elektrode sowie anderen Materialien für die Herstellung der Warenträger.

Sonderflansche / zusätzliche Flansche

Sonderflansche werden eingesetzt, wenn mehr als die vorbereiteten Anschlüsse benötigt werden.

Sondervakuumkammern

Gemäß DIN 12198 wurde an unseren Anlagen (Schauglas) eine UV-Bestrahlungsstärkemessung durchgeführt. Resultat: unbedenklich. Sondervakuumkammern gibt es in den Ausführungen rund mit Deckel, rechteckig und Tür mit Scharnier, sie sind aus Aluminium und unterscheiden sich auch durch den Öffnungsdurchmesser und die Innenabmessung. Sprechen Sie uns an.

Standard-Elektrode rund oder rechteckig

Aus Edelstahl/Aluminium-Blech für Standard-Plasmaprozesse.

Thermischer Verdampfer

Für Substanzen mit niedrigem Dampfdruck. Napf-Durchmesser: 16 mm, Napf-Volumen: 0,1 l. Abschirmung gegen Plasmaeinwirkung, Kontrolle der Temperatur (max. 500 °C) und der Temperaturanstiegsgeschwindigkeit (bis zu 250 °C/min). Der Anschluss erfolgt über Kleinflansch-Durchführung.

Vakuumkammern aus Edelstahl

Vakuumkammern aus Edelstahl sind für Standard-Plasmaprozesse.

Vakuumpumpstände

Drehschieber- oder Trockenlaufpumpe mit Mineral- oder PFPE-Öl. Die Pumpen werden ölgefüllt geliefert.

Vollautomatische Steuerung

Eine ausführliche Beschreibung unserer verschiedenen Steuerungsvarianten finden Sie unter dem Menüpunkt Plasmaanlagen/Steuerung/vollautomatische Steuerung.

Wäschesack

Für die Vorreinigung von Kleinteilen in der Waschmaschine. Abmessungen: 500 mm x 300 mm. Mindestbestellmenge: 20 Stück.-

Wasserkühlung

Wasser-Luft-Kühlung mit Rollen für mobilen Einsatz. Anschluss potentialfrei durch 2 Wechsler-Kontakte für Pumpenschutzschaltung.

Waschtrockner

Für die Erstreinigung von Kleinteilen vor der Plasmabehandlung. Nur bei stark verschmutzten Teilen nötig. Hersteller: Miele: Typ WT 2670 WPM.

Wassergekühlte Warenträger-Platte

Die wassergekühlte Platte wird am Kammerboden montiert und wird inklusive Wasserpumpe und Wasserbehälter geliefert. Sie wird eingesetzt zur Kühlung von wärmeempfindlichen Teilen.

Weitere Software-Funktionen

Die Software kann jederzeit um weitere Optionen erweitert werden. Bitte teilen Sie uns Ihre Anforderungen mit.

Zusätzliche Gaskanäle

Nadelventile: Unsere Anlagen können mit beliebig vielen Nadelventilen ausgestattet werden. Standard bei der Plasmaanlage vom Typ Femto sind 1-3 Stück, weitere sind auf Anfrage möglich.