Die Anlage besteht aus drei Einheiten:
1. Versorgungseinheit
- elektrischer Netzanschluss
- Prozess- und Kühlgasanschluss
- Hochspannungsgenerator
- Strommessblock
- Gassteuerungsblock
- Frontplatte mit Bedienelementen
2. Gas- und Stromzuleitung im flexiblen Rohr
3. Plasmaerzeuger: die Zentralelektrode, äußere Elektrode und Isolator bilden eine Entladungszone.
- Der Hochspannungsgenerator wandelt die Netzspannung in die Hochspannung um (bis zu 10 kV), die notwendig ist für die Ausbildung der elektrischen Entladung,
- Die Versorgungsspannung und das Prozessgas werden in der Entladungszone durch die flexible Leitung zugeführt.
- Der Luftstrom trägt die im Lichtbogen entstehenden aktiven Spezies (i+, e-, r*) aus Entladungszone heraus (Plasma Jet-Verfahren).
- Der Strom des aktiven Gases wird durch spezielle Düsenform auf das zu bearbeitende Werkstück fokussiert.