Plasmaanlage Nano gebraucht
Technische Daten
Gehäuse
B 600 mm, H 2000 mm, T 800 mm
Kammer
Quarzglas (UHP), Tür mit Scharnier
(ca. ∅ 240 mm, T 390 mm)
Kammervolumen
ca. 24 Liter
Gaszuführung
2 Gaskanäle über Nadelventile
12 Gaskanäle über Mass-Flow-Controller (MFCs)
Generator
1 Stück (2,45 GHz, 0 - 1500 W)
Steuerung
Halbautomatik