Plasmaanlage Tetra 5200 LF PC gebraucht
Technische Daten
Schaltschrank
B 2000 mm, H 1800 mm, T 1000 mm
Kammer
B 1500 mm, H 2350 mm, T 1500 mm
Aluminium rechteckig
Kammervolumen
ca. 5200 Liter
Gaszuführung
2 Prozessgase über Mass-Flow-Controller geregelt
Generator
3 Stück (je 40 kHz)
Steuerung
PC-Steuerung