Low Cost System Atto

Die 10,5 Liter LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ATTO mit manueller, PC und PCCE Steuerung kommt vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz: 

  • Kleinserienfertigung
  • Analytik (REM, TEM)
  • Medizintechnik
  • Sterilisieren
  • Forschungs- und Entwicklungsabteilungen
  • Archäologie
  • Textiltechnik
  • Kunststofftechnik

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Prospekt Atto

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Plasmaanlage Atto mit manueller Steuerung, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie

Technische Daten: Plasma Cleaner Atto mit manueller Steuerung

Gehäuse:B 425 mm, H 275 mm, T 450 mm

Kammer:aus Glas, ∅ 211 mm, L 300 mm

Kammervolumen:ca. 10,5 Liter

Gaszuführung:2 Gaskanäle über Nadelventil

Generator:40 kHz/200 W oder 13,56 MHz/50 W feste Matching

Vakuumpumpe:Saugleistung: 2 m3/h

Teile-Aufnahme:1 St. Warenträger

Steuerung:manuell, Prozesszeit über Analog-Timer

Plasmaanlage Atto mit externer PC Steuerung, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Plasmasysteme

Technische Daten: Plasma Cleaner Atto mit externer PC-Steuerung

Gehäuse:B 525 mm, H 275 mm, T 450 mm

Kammer:aus Glas, ∅ 211 mm, L 300 mm

Kammervolumen:ca. 10,5 Liter

Gaszuführung:2 Gaskanäle über MFCs

Generator:40 kHz / 200 W oder 13,56 MHz / 50 W feste Matching

Vakuumpumpe:Saugleistung: 2 m3/h

Teile-Aufnahme:1 St. Warenträger

Steuerung:PC-Steuerung (Microsoft Windows XP)

Low-cost Plasmaanlage Atto mit eingebauter PC-Steuerung, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma etcher, Plasma activation für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Plasmasysteme

Technische Daten: Plasma Cleaner Atto mit eingebauter PC-Steuerung

Gehäuse:B 525 mm, H 275 mm, T 450 mm

Kammer:aus Glas, ∅ 211 mm, L 300 mm

Kammervolumen:ca. 10,5 Liter

Gaszuführung:2 Gaskanäle über MFCs

Generator:40 kHz/200 W oder 13,56 MHz/50 W feste Matching

Vakuumpumpe:Saugleistung: 2 m3/h

Teile-Aufnahme:1 St. Warenträger

Steuerung:PC-Steuerung (Microsoft Windows XP)

Technische Daten: Plasma Cleaner Atto mit eingebauter PCCE-Steuerung

Gehäuse:B 525 mm, H 275 mm, T 450 mm

Kammer:aus Glas, ∅ 211 mm, L 300 mm

Kammervolumen:ca. 10,5 Liter

Gaszuführung:2 Gaskanäle über MFCs

Generator:40 kHz / 200 W oder 13,56 MHz / 50 W feste Matching

Vakuumpumpe:Saugleistung: 2 m3/h

Teile-Aufnahme:1 St. Warenträger

Steuerung:PC-Steuerung (Microsoft Windows CE)