Die Bell Jar 35 Plasmaanlage ist eine Forschungsanlage, die für wissenschaftliche Experimente entwickelt wurde. Die Anlage ist sowohl für thermisches Verdampfen, Sputtern, Elektronenstrahlverdampfung, metallische Beschichtungen für REM (Raster Elektronen Mikroskop) Probenvorbereitungen als auch für klassische Plasmaprozesse geeignet.
Rufen Sie uns an, wir beraten Sie gerne. Tel.: 0 74 58/999 31-0
Grundausstattung
- Gehäuse ca. B 560 mm x H 1640 mm x T 620 mm
- Kammervolumen: ca. 35 Liter
- Spannungsversorgung: 230 V / 16 A
Gaszufuhr
- 3 Mass-Flow-Controller (MFCs)
Vakuumkammern
- Glasglocke aus Borosilikat Glas∅ 315 mm x H 500 mm
Sputterquelle
- 1 Sputterquelle 2" - 3" + Shutter(optional mit Kamin und Gaseinlass für reaktive Prozesse)
Substrathalter
- ∅ 140 mm (optional drehbar, Substratheizung, Substratkühlung)
- Schaltbar als Elektrode zur Plasmavorbehandlung (Reinigen, Aktivieren, Ätzen)
Steuerung
- PC-Steuerung (Microsoft Windows XPe)
Druckmessung
- Pirani
Generatoren
| Frequenzen: | 40 kHz: Leistung 0 - 500 W |
| 13,56 MHz: Leistung 0 - 300 W |
Bias-Spannungsquelle DC oder einpolig gepulst
Leistung max. 300 WSpannung max. 600 V DC
Die Generatoren sind stufenlos regelbar von 0 - 100 %
Vakuumpumpen
- In verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern (nach Bedarf mit Aktivkohlefilter)
Weitere Optionen
Ersatzteilsets, Druckmessgerät, Korrosivgasausführung, Gasflaschen, Druckminderer, Heizplatte, Temperaturanzeige, beheizbare Kammer, Faraday Box, Plasmapolymerisationszubehör, Testtinten, Sauerstoffgenerator, langsame Belüftung, langsames Abpumpen, TEM Probenhalterflansch, Wartung/Service, Dokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung. Weitere Optionen auf Anfrage.