Die Femto Plasmasysteme können in verschiedenen Varianten wie in einem Baukastensystem kombiniert werden. Im Folgenden erhalten Sie einen Überblick über die gängigsten Optionen in Verbindung mit den Femto Plasmasystemen. Die Femto Plasmasysteme kommen vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz:
- Analytik
- Archäologie
- Automotive
- Forschungs- und Entwicklungsabteilungen
- Halbleitertechnik
- Kleinserienfertigung
- Kunststofftechnik
- Medizintechnik
- Mikrosystemtechnik
- Sensorik
- Sterilisieren
- Textiltechnik
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Prospekt Femto
Grundausstattung
- Die Gehäuse variieren je nach Komponenten / Optionen
- Kammervolumen: je nach Version 1,9 - 6 Liter
- Spannungsversorgung: 230 V für Tischgerät, 400 V / 3 Phasen für Standgerät
Gaszufuhr
- Nadelventile
- Mass-Flow-Controller (MFCs)
Vakuumkammern
- Edelstahl rund mit Deckel(ca. ∅ 100 mm, L 278 mm oder L 600 mm)
- Edelstahl rechteckig, Tür mit Scharnier(ca. B 103 x T 285 x H 103)
- Aluminium rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier(ca. ∅ 95 mm, L 280 mm oder L 600 mm)
- Quarzglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier(ca. ∅ 95 mm, L 280 mm oder L 600 mm)
- Borosilikatglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier(ca. ∅ 95 mm, L 280 mm oder L 600 mm)
Beladung
- Warenträger (Option: wasssergekühlt), Quarzglasboote, Pulverdrehtrommel, Schüttgutdrehtrommel, Aluminiumblech, Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas
Elektroden
- Ein- oder Mehretagen
- RIE
Steuerungen
- Halbautomatik
- PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE)
- PC-Steuerung (Microsoft Windows POS Ready 2009)
Druckmessung
- Pirani
- Baratron (für Korrosiv Gas Version)
Timer
- Digital
Generatoren
| Frequenzen: | 40 kHz: Leistung 0 - 100 W; 0 - 1000 W |
| 13,56 MHz; Leistung 0 - 50 W; 0 - 300 W | |
| 12,45 GHz: Leistung 0 - 100 W; 0 - 300 W |
Alle Generatoren sind stufenlos regelbar von 0 - 100 %
Vakuumpumpen
- In verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern (nach Bedarf mit Aktivkohlefilter)
Weitere Optionen
Ersatzteilsets, Druckmessgerät, Korrosivgasausführung, Gasflaschen, Druckminderer, Heizplatte, Temperaturanzeige, beheizbare Kammer, Faraday Box, Plasmapolymerisationszubehör, Testtinten, Sauerstoffgenerator, langsame Belüftung, langsames Abpumpen, TEM Probenhalterflansch, Wartung/Service, Dokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung. Weitere Optionen auf Anfrage.