Die Pico Plasmaanlagen können in verschiedenen Varianten wie in einem Baukastensystem kombiniert werden. Im Folgenden erhalten Sie einen Überblick über die gängigsten Optionen in Verbindung mit den Pico Plasmasystemen. Die Pico Plasmasysteme kommen vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz:
- Analytik (REM, TEM)
- Archäologie
- Automotive
- Forschungs- und Entwicklungsabteilungen
- Halbleitertechnik
- Kleinserienfertigung
- Kunststofftechnik
- Medizintechnik
- Mikrosystemtechnik
- Sensorik
- Sterilisieren
- Textiltechnik
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Prospekt Pico
Grundausstattung
- Die Gehäusegrößen variieren je nach Komponenten / Optionen
- Kammervolumen: je nach Version 4 - 15 Liter
- Spannungsversorgung: 230 V für Tischgerät 400 V / 3 Phasen für Standgerät
Gaszufuhr
- Nadelventile
- Mass-Flow-Controller (MFCs)
Vakuumkammern
- Edelstahl rund mit Deckel(ca. ∅ 150 mm, L 320 mm oder L 600 mm ) oder
- Edelstahl rechteckig, Tür mit Scharnier(ca. B 160 mm x H 160 mm x T 325 mm oder 600 mm)
- Aluminium rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier(ca. ∅ 130 mm, L 300 mm oder L 600 mm)
- Quarzglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier(ca. ∅ 130 mm, L 300 mm oder L 600 mm)
- Borosilikatglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier(ca. ∅ 130 mm, L 300 mm oder L 600 mm)
Beladung
- Warenträger (Option: wassergekühlt), Quarzglasboote, Pulverdrehtrommel, Schüttgutdrehtrommel, Aluminiumblech, Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas
Elektroden
- Ein- oder Mehretagen
- RIE
Steuerung
- Halbautomatik
- PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE)
- PC-Steuerung (Microsoft Windows POS Ready 2009)
Druckmessung
- Pirani
- Baratron (für Korrosivgas-Version)
Timer
- Digital
Generatoren
| Frequenzen: | 40 kHz: Leistung 0 - 200 W; 0 -1000 W |
| 13,56 MHz: Leistung 0 - 50 W; 0 - 100 W; 0 - 300 W | |
| 2,45 GHz: Leistung 0 - 300 W |
Alle Generatoren sind sufenlos regelbar von 0 - 100 %
Vakuumpumpen
- In verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern (nach Bedarf mit Aktivkohlefilter)
Weitere Optionen
Ersatzteilsets, Druckmessgerät, Korrosivgasausführung, Gasflaschen, Druckminderer, Heizplatte, Temperaturanzeige, beheizbare Kammer, Faraday Box, Plasmapolymerisationszubehör, Testtinten, Sauerstoffgenerator, langsame Belüftung, langsames Abpumpen, TEM Probenhalterflansch, Wartung/Service, Dokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung. Weitere Optionen auf Anfrage.