Sonderanlagen

Draht/Garn-Beschichtung/Reinigung/Aktivierung mit Plasma

Die Tetra-2-PC Rolle-zu-Rolle Plasmaanlage ist für das Beschichten von Fasern, Garnen und Drähten mit einer Rolle-zu-Rolle Vorrichtung konzipiert.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-2-PC, Rolle zu Rolle

Technische Daten:

Gehäuse: B 3491 mm, H 1000 mm, T 1278 mm

Kammer: L 1050 mm, ∅ 90 mm

Kammervolumen: ca. 2 Liter

Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs

Generator: 2 Stück (je 40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Automatisierung: Rolle-zu-Rolle

Die Tetra-15 Plasmaanlage ist für das Sputtern (hochvakuumbasierte Beschichtungstechnik) sowie für das Reinigungsverfahren zur Präparation hochreiner Oberflächen konzipiert.
Die Tetra-15 Plasmaanlage ist für das Sputtern (hochvakuumbasierte Beschichtungstechnik) sowie für das Reinigungsverfahren zur Präparation hochreiner Oberflächen konzipiert.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-15-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 600 mm, H 1700 mm, T 800 mm

Kammer: B 360 mm, H 150 mm, T 260 mm

Kammervolumen: ca. 15 Liter

Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs

Generator: 2 Stück (je 40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Kurztaktanlage Tetra-30-LF-PC

Eine Kurztaktanlage kann gut in eine bestehende Fertigungslinie integriert werden. Eine vollautomatisierte Kurztaktanlage wird zusätzlich die möglichen Bedienerfehler ausschließen.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-30-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 800 mm, H 600 mm, T 500 mm

Kammer: B 240 mm, H 150 mm, T 240 mm

Kammervolumen: ca. 30 Liter

Gaszuführung: 1 Gaskanal über MFCs

Generator: 1 Stück (40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Automatisierung: Die Anlage kann in eine Fertigungslinie integriert werden.

Diese Anlage ist auch als Bausatz erhältlich.

Die Produktionsanlage Tetra-100 mit ihren 100 Litern Kammervolumen, PC-Steuerung und vollautomatischer Türe kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-100-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 2000 mm, H 2200 mm, T 2000 mm

Kammer: B 700 mm, H 200 mm, T 700 mm

Kammervolumen: ca. 100 Liter

Gaszuführung: 3 Gaskanäle über MFCs

Generator: 1 Stück (40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Automatisierung: Die Anlage hat eine Schubladentür

Tetra-120-LF-PC

Die Produktionsanlage Tetra-120 mit ihren 120 Litern Kammervolumen, PC-Steuerung und vollautomatischer Türe kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-120-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 600 mm, H 2150 mm, T 1000 mm

Kammer: B 1200 mm, H 150 mm, T 1700 mm

Kammervolumen: ca. 120 Liter

Gaszuführung: 4 Gaskanäle über MFCs

Generator: 2 Stück (je 40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Automatisierung: Die Anlage hat eine automatische Tür

Die Produktionsanlage Tetra-130 mit ihren 130 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt beim Reinigen und Beschichten von medizinischen Komponenten zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-130-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 1800 mm, H 2100 mm, T 1300 mm

Kammer: B 400 mm, H 400 mm, T 810 mm

Kammervolumen: ca. 130 Liter

Gaszuführung: 3 Gaskanäle über MFCs(davon 1x über Bubbler)1 Gaskanal Monomer über 2/2-Wegeventil

Generator: 1 Stück (13,56 MHz) (optional: 40 kHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Eigenschaften: UHV-Bereich mit Turbopumpe

Die Produktionsanlage Tetra-140 mit ihren 140 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen, Aktivieren und Plasmapolymerisation) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-140-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 600 mm, H 2100 mm, T 650 mm

Kammer: B 1200 mm, H 700 mm, T 1500 mm

Kammervolumen: ca. 140 Liter

Gaszuführung: 3 Gaskanäle über MFCs

Generator: 1 Stück (40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Die Produktionsanlage Tetra-140 mit ihren 140 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen, Aktivieren und Plasmapolymerisation) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-140-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 1000 mm, H 1800 mm, T 1000 mm

Kammer: B 1000 mm, H 100 mm, T 1400 mm

Kammervolumen: ca. 140 Liter

Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs, Flüssigmonomerdosierung für Plasmapolymerisation

Generator: 1 Stück (40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Die Produktionsanlage Tetra-150 mit ihren 150 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt bevorzugt im Bereich der Textilbeschichtung zm Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-150-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 1000 mm, H 2100 mm, T 1000 mm

Kammer: B 400 mm, H 600 mm, T 625 mm

Kammervolumen: ca. 150 Liter

Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs

Generator: 1 Stück (40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Automatisierung: Rolle-zu-Rolle mit 400 mm Breite und 300 mm Durchmesser

Die Produktionsanlage Tetra-185 mit ihren 185 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt bevorzugt bei der Leiterplattenherstellung zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-185-LF-PC Desmearing

Technische Daten:

Schaltschrank: B 600 mm, H 2100 mm, T 1000 mm

Kammer: B 400 mm, H 665 mm, T 700 mm

Kammervolumen: ca. 185 Liter

Gaszuführung: 4 Gaskanäle über MFCs

Generator: 1 Stück (40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Eigenschaften:

  • Desmearing div. Materialien (Bohrlochwandreinigung)
  • Oberflächenreinigung
  • Aktivierung von metallischen Oberflächen
  • 7 Einschübe für 7 gleichzeitig zu behandelnde Platten
  • Fertigungszuschnitte bis 460 x 610 mm
Die Produktionsanlage Tetra-210 mit ihren 210 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen und Beschichten) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-210-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 1560 mm, H 2350 mm, T 1860 mm

Kammer: B 1000 mm, H 200 mm, T 1400 mm

Kammervolumen: ca. 210 Liter

Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs

Generator: 1 Stück Pulsgenerator1 Stück (40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Die Produktionsanlage Tetra-240 mit ihren 240 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-240-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 600 mm, H 1700 mm, T 3200 mm

Kammer: B 305 mm, H 300 mm, T 2600 mm

Kammervolumen: ca. 240 Liter

Gaszuführung: 3 Gaskanäle über MFCs

Generator: 1 Stück (40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Die Produktionsanlage Tetra-260 mit ihren 260 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-260-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 2500 mm, H 2200 mm, T 1000 mm

Kammer: B 650 mm, H 500 mm, T 800 mm

Kammervolumen: ca. 260 Liter

Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs

Generator: 10 Stück (je 40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Die Produktionsanlage Tetra-375 mit ihren 375 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-375-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 600 mm, H 2100 mm, T 800 mm

Kammer: B 600 mm, H 360 mm, T 1900 mm

Kammervolumen: ca. 375 Liter

Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs

Generator: 2 Stück (je 40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Die Produktionsanlage Tetra-400 mit ihren 400 Litern Kammervolumen, PC-Steuerung und vollautomatischer Schiebetür kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-400-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 600 mm, H 2100 mm, T 650 mm

Kammer: B 915 mm, H 750 mm, T 725 mm

Kammervolumen: ca. 400 Liter

Gaszuführung: 3 Gaskanäle über MFCs

Generator: 2 Stück (je 40 kHz)(optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Automatisierung: Die Anlage hat eine automatische Schiebetür

Die Produktionsanlage Tetra-420 mit ihren 420 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz. Diese Anlage wird unter anderem für Desmearing von PCBs verwendet.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-420-LF-PC-PCB

Technische Daten:

Schaltschrank: B 1600 mm, H 2100 mm, T 1200 mm

Kammer: B 750 mm, H 800 mm, T 750 mm

Kammervolumen: ca. 420 Liter

Gaszuführung: 4 Gaskanäle über MFCs

Generator: 4 Stück (je 40 kHz)(optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Die Sonderanlage Tetra-500 mit Rolle-zu-Rolle-System und 500 Litern Kammervolumen sowie PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren von z. B. Folien) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-500-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 600 mm, H 2100 mm, T 800 mm

Kammer: B 1500 mm, H 1700 mm, T 200 mm

Kammervolumen: ca. 500 Liter

Gaszuführung: 3 Gaskanäle über MFCs

Generator: 2 Stück (je 40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Teile-Aufnahme: 2 Rolle-zu-Rolle-Systeme

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Tetra-575-LF-PC

Die Sonderanlage Tetra-575 mit ihren 575 Litern Kammervolumenn sowie PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen, Aktivieren und Beschichten) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-575-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 1150 mm, H 1900 mm, T 1600 mm

Kammer: B 600 mm, H 1200 mm, T 800 mm

Kammervolumen: ca. 575 Liter

Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs

Generator: 1 Stück (40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Teile-Aufnahme: 22 Etagen / Warenträger (variabel)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) 

Die Produktionsanlage Tetra-600 mit ihren 600 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-600-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 600 mm, H 2200 mm, T 1200 mm

Kammer: B 810 mm, H 810 mm, T 925 mm

Kammervolumen: ca. 600 Liter

Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs

Generator: 2 Stück (je 40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Die Produktionsanlage Tetra-600 mit ihren 600 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz

Sonder-Plasmaanlage Tetra-600-LF-PC

Version 1

Technische Daten:

Schaltschrank: B 600 mm, H 2200 mm, T 800 mm

Kammer: B 1000 mm, H 1000 mm, T 600 mm

Kammervolumen: ca. 600 Liter

Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs

Generator: 2 Stück (je 40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Automatisierung: 11 Etagen / Warenträger

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Die Produktionsanlage Tetra-600 mit ihren 600 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-600-LF-PC

Version 2

Technische Daten:

Schaltschrank: B 1800 mm, H 1800 mm, T 800 mm

Kammer: B 580 mm, H 730 mm, T 1000 mmTür mit 2 Schaugläsern

Kammervolumen: ca. 600 Liter

Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs

Generator: 1 Stück, automatische Matching

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Die Produktionsanlage Tetra-600 mit ihren 600 Litern Kammervolumen, PC-Steuerung und einer Drehtrommel kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz

Sonder-Plasmaanlage Tetra-600-LF-PC mit Drehtrommel

Version 1

Technische Daten:

Schaltschrank: B 600 mm, H 2200 mm, T 800 mm

Kammer: ∅ 1100 mm, D 700 mm

Kammervolumen: ca. 600 Liter

Gaszuführung:2 Gaskanäle über MFCs

Generator: 2 Stück (je 40 kHz)(optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Teile-Aufnahme: Drehtrommel (mit 4 Körben je 30 Liter Inhalt)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Die Produktionsanlage Tetra-600 mit ihren 600 Litern Kammervolumen, PC-Steuerung und einer Drehtrommel kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-600-LF-PC mit Drehtrommel

Version 2

Technische Daten:

Schaltschrank: B 1000 mm, H 2200 mm, T 1800 mm

Kammer: ∅ 1000 mm, D 750 mm, Tür mit 2 Schaugläsern

Kammervolumen: ca. 600 Liter

Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs

Generator: 4 Stück (je 40 kHz) automatische Matching

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

 

 

Die Produktionsanlage Tetra-800 mit ihren 800 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt inder Serienfertigung (Reinigen, Ätzen) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-800-LF-PC 

Technische Daten:

Schaltschrank: B 600 mm, H 1800 mm, T 800 mm

Kammer: B 1250 mm, H 550 mm, T 1120 mm

Kammervolumen: ca. 800 Liter

Gaszuführung: 3 Gaskanäle über MFCs

Generator: 1 Stück (40 kHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Die Produktionsanlage Tetra-850 mit ihren 850 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Aktivieren) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-850-LF-PC 

Technische Daten:

Schaltschrank: B 1500 mm, H 2000 mm, T 800 mm

Kammer: B 1300 mm, H 1800, T 400

Kammervolumen: ca. 850 Liter

Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs

Generator: 1 Stück (40 kHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Die Produktionsanlage Tetra-1200 mit ihren 1200 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Aktivieren) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-1200-LF-PC 

Technische Daten:

Schaltschrank: B 1000 mm, H 1000 mm, T 1800 mm

Kammer: B 600, H 1000 mm, T 2000 mm

Kammervolumen: ca. 1200 Liter

Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs

Generator: 3 Stück (je 40 kHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Die Produktionsanlage Tetra-1600 mit ihren 1600 Litern Kammervolumen wird zum Vakuumtrocknen benutzt.

Sonder-Vakuumanlage Tetra-1600 

Technische Daten:

Kammer: B 900, H 700 mm, T 2600 mm

Kammervolumen: ca. 1600 Liter

Die Produktionsanlage Tetra-2000 mit ihren 2000 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Aktivieren) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-2000-RF-PC

Technische Daten:

Kammer: B 1000, H 2000 mm, T 1000 mm

Kammervolumen: ca. 2000 Liter

Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs

Generator: 1 Stück (13,56 MHz)

Teile-Aufnahme: Bis zu 10 Warenträger

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Die Produktionsanlage Tetra-2400 mit ihren 2400 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-2400-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 600 mm, H 2200 mm, T 800 mm

Kammer: ∅ 1100, T 2500 mm

Kammervolumen: ca. 2400 Liter

Gaszuführung: 3 Gaskanäle über MFCs

Generator: 4 Stück (je 40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Teile-Aufnahme: Drehtrommel (mit 16 Körben je 30 Liter Inhalt)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Tetra-2800-LF-PC

Die Produktionsanlage Tetra-2800 mit ihren 2800 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-2800-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 600 mm, H 1700 mm, T 800 mm

Kammer: ∅ 1200 mm, T 2500 mm

Kammervolumen: ca. 2800 Liter

Gaszuführung: 3 Gaskanäle über MFCs

Generator: 1 Stück (40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Die Produktionsanlage Tetra-3000 mit ihren 3000 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen, Aktivieren und Sterilisieren) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-3000-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank 1: B 1200 mm, H 2100 mm, T 600 mm

Schaltschrank 2: B 600, H 2200 mm, T 800 mm

Kammer: B 1200 mm, H 1700 mm, T 1510 mm

Kammervolumen: ca. 3000 Liter 

Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs

Generator: 4 Stück (je 40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Die Produktionsanlage Tetra-4400 mit ihren 4400 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-4400-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 1800 mm, H 1000 mm, T 800 mm

Kammer: L 1350 mm, T 1250 mm, H 2600 mm

Kammervolumen: ca. 4.400 Liter

Gaszuführung: 3 Gaskanäle über MFCs

Generator: 4 Stück (je 40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Eigenschaften: Sauerstoffgenerator, Plasmareinigungsquelle für Rootspumpen

Die Produktionsanlage Tetra-5600 mit ihren 5600 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-5600-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 1800 mm, H 2200 mm, T 1800 mm

Kammer: B 2250 mm, H 2450 mm, T 1000 mm

Kammervolumen: ca. 5600 Liter

Gaszuführung: 3 Gaskanäle über MFCs

Generator: 6 Stück (je 40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Teile-Aufnahme: Befüllung über Rollwägen(optional: spezielle Trommel)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Die Produktionsanlage Tetra-7000 mit Rolle-zu-Rolle-System, ihren 7000 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen, Aktivieren und Beschichten) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-7000-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 2400 mm, H 2300 mm, T 1000 mm

Kammer: B 2400 mm, H 2100 mm, T 1400 mm

Kammervolumen: ca. 7000 Liter

Gaszuführung: 3 Gaskanäle über MFCs

Generator: 4 Stück (je 40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Die Produktionsanlage Tetra-7300 mit ihren 7300 Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-7300-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 600 mm, H 2100 mm, T 1200 mm

Kammer: B 1400 mm, H 2100 mm, T 2500 mm

Kammervolumen: ca. 7300 Liter

Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs

Generator: 3 Stück (je 40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Die Produktionsanlage Tetra-7500 mit ihren 7500 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-7500-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 3000 mm, H 2000 mm, T 1000 mm

Kammer: B 1500 mm, T 2000 mm, H 2500 mm

Kammervolumen: ca. 7500 Liter

Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs

Generator: 6 Stück (je 40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Die Produktionsanlage Tetra-8000 LF-PC mit ihren 8.000 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra 8000-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 2000 mm, H 1800 mm, T 1000 mm

Kammer: B 1700 mm, T 2800 mm, H 1700 mm

Kammervolumen: ca. 8000 Liter

Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs

Generator: 4 Stück (je 40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Die Produktionsanlage Tetra-12600 mit ihren 12.600 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Aktivieren) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-12 600-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 1200 mm, H 2200 mm, T 800 mm

Kammer: B 2400 mm, H 2100 mm, T 2500 mm

Kammervolumen: ca. 12 600 Liter

Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs

Generator: 6 Stück (je 40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Teile-Aufnahme: Befüllung über Rollwägen

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus