Steuerungsvarianten
Grundsätzlich ist es möglich, alle Anlagen bzw. Vakuumkammern (Femto, Pico, Nano, Tetra 8, Tetra 30, Tetra 50, Tetra 100, Sonderanlagen, ...) mit allen Steuerungssystemen auszustatten.
Folgende Steuerungen sind lieferbar:
Grundsätzlich ist es möglich, alle Anlagen bzw. Vakuumkammern (Femto, Pico, Nano, Tetra 8, Tetra 30, Tetra 50, Tetra 100, Sonderanlagen, ...) mit allen Steuerungssystemen auszustatten.
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