Full PC-Steuerung
Zur Steuerung unserer PC-Anlagen haben wir eine Software entwickelt, die den speziellen Anforderungen der Plasmatechnik angepasst ist:
- Die Steuerung erfolgt durch einen PC.
- Die Steuerung ist in die Anlage eingebaut.
- Betriebssystem Windows XP / Vista/7.
- Druckluftwächter
- 100 automatische Prozesse einstellbar mit jeweils 10 Subprogrammen (z. B. 10 Minuten reinigen mit Sauerstoff, anschließend reduzieren mit Wasserstoff).
- Eingabe eines Kommentars.
- Speichern der Prozessdaten als Excel-Datei und als Diagramm.
- Netzkarte - automatischer Datenexport auf Netzwerkcomputer möglich.
- Bedienung mit Programmen unter Windows.
- Zwei Modi: Manueller Betrieb: Manuelles Bedienen der Anlage über Dialogbox. Automatischer Betrieb: Autom. Ablauf eines zuvor erstellten Prozesses.
- Parameter: Abpumpdruck (bis Prozessstart) Max. Abpumpzeit Gas-Massenflüsse (Verhältnisse) Prozessdruck Stabilisierungszeit HF-Leistung Prozessdauer mit HF Spülzeit Belüftungszeit
- Fehlergrenzen für: Massenfluss, Prozessdruck, HF-Leistung.
- Digitale Druckregelung über PI/PID-Regler, d. h. nicht für Steuerung der Massenflüsse, sondern echte Druckstabilisierung.
- Druckregelung erfolgt in Echtzeit und über gesamte Prozesszeit.
- Anzeige aller Programmschritte im Echtzeitmodus.
- Sicherheitsrelevante Einstellungen, z. B. blockierte Steuerelemente aus Sicherheitsgründen, solange die Kammertür geöffnet ist, darf nicht abgepumpt werden.
- Rezipient: es wird der Zustand des Türschalters, des Übertemperaturschalters und des Vakuumschalters angezeigt.
- Eingabe einer Chargennummer und eines Bedieners.
- Wartungsintervalle individuell einstellbar, je nach Betriebsstunden.
- Sensibilität für Druckregelung einstellbar.
- Alarmarchiv mit Anzeige aller Alarme.
- Detaillierte Fehlermeldungen, z. B. der Istgasfluss von Gas 12 weicht stark vom Sollwert ab.
- Diagramm auch im Vollbildmodus verfügbar.
- Programmierung nur mit Passwort-Eingabe möglich (Sicherheit für Produktion).
- Im Datenarchiv können alle gespeicherten Prozesse inkl. Dateiinfo jederzeit angesehen werden.
- Bei Drehtrommel Intervallangabe möglich (z. B, 60 Sek. Stopp, 60 Sek. Drehen, 30 Sek. Stopp).
- Gasversorgung: Die Sollwerte für die einzelnen Mass-Flow-Controller (MFC's) können vorgegeben werden, die aktuellen Ist-Werte werden angezeigt.
- Einstellungen prozessunabhängig, aber anlagen- und kundenabhängig möglich (Gasarten, Mass-Flow-Controller, Druckregler, Kühlwasser, Speicherort- und Art).
- Sprachauswahl Standard: Deutsch, Englisch, OPTIONAL auf Wunsch auch andere Sprachen.
- Signalturm (rotes und grünes Signal).
Auf Wunsch folgende Optionen möglich:
- Bei Verwaltung verschiedener Elektroden ist die Auswahl der Elektrodenüberwachung möglich (Bsp. Drehtrommel / Etagenelektrode).
- Auf Wunsch akustisches Signal bei Prozessende.
- Taktung für Verdampfer möglich.
- Regelung der Temperaturanzeige möglich.
- Aktuelle Kühlwassertemperatur wird angezeigt.
- Ferndiagnose
- Protokollausdruck über handelsüblichen Drucker. Drucker ist nicht im Lieferumfang enthalten.
- Diagrammlayout kann angepasst werden.
- Wächter für DC-Bias-Quelle.
- Barcodeleser
- HF-Generator kann gepulst werden.
- Temperaturanzeige
- Obligatorische Konfiguration der PC-gesteuerten Anlage:- Die Anlage muss mit mind. 1 MFC ausgestattet werden.- Eine Drucküberwachung ist erforderlich.- Ein Generator mit PC-Interface ist erforderlich.