Die Tetra 150 Plasmasysteme können in verschiedenen Varianten wie in einem Baukastensystem kombiniert werden. Im Folgenden erhalten Sie einen Überblick über die gängigsten Optionen in Verbindung mit den Tetra 150 Plasmasystemen. Die Tetra 150 Plasmasysteme kommen vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz:
- Analytik (REM, TEM)
- Archääologie
- Automotive
- Biotechnologie
- Elastomertechnik
- Elektrotechnik
- Elektronenmikroskopie
- Feinwerktechnik
- Forschung und Entwicklung
- Halbleitertechnik
- Kleinserienfertigung
- Kunststofftechnik
- Medizintechnik
- Mikrosystemtechnik
- Solarzellentechnik
- Textiltechnik
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Prospekt Tetra 150
Grundausstattung
- Die Gehäusegrößen variieren je nach Komponenten/Optionen
- Kammervolumen: je nach Version 150 Liter
- Spannungsversorgung: 230 V oder 400 V / 3 Phasen
Gaszufuhr
- Mass-Flow-Controller (MFCs)
Vakuumkammer
- Edelstahl rechteckig, Tür mit Scharnier (ca. B 400 mm x H 600 mm x T 625 mm)
Beladung
- Warenträger (Option: wassergekühlt), Quarzglasboote, Pulverdrehtrommel, Schüttgutdrehtrommel, Aluminumblech, Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas
Elektroden
- Ein- oder Mehretagen
- RIE Elektrode mit Gasdusche
Steuerung
- PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE)
- PC-Steuerung (Microsoft Windows POS Ready 2009)
Druckmessung
- Pirani
- Baratron (für Korrosivgas-Version)
Timer
- Digital
Generatoren
Frequenzen: | 40 kHz: Leistung 0 - 1000 W; 0 - 1500 W; 0 - 2500 W |
13,56 MHz: Leistung 0 - 300 W; 0 - 600 W; 0 - 1000 W | |
2,45 GHz: Leistung 0 - 1200 W |
Alle Generatoren sind stufenlos regelbar von 0 - 100 %
Vakuumpumpen
- In verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern (nach Bedarf mit Aktivkohlefilter)
Weitere Optionen
Ersatzteilsets, Druckmessgerät, Korrosivgasausführung, Gasflaschen, Druckminderer, Heizplatte, Temperaturanzeige, beheizbare Kammer, Faraday Box, Plasmapolymerisationszubehör, Testtinten, Sauerstoffgenerator, langsame Belüftung, langsames Abpumpen, TEM Probenhalterflansch, Wartung/Service, Dokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung. Weitere Optionen auf Anfrage.