Die Tetra 30 Plasmasysteme können in verschiedenen Varianten wie in einem Baukastensystem kombiniert werden. Im Folgenden erhalten Sie einen Überblick über die gängigsten Optionen in Verbindung mit den Tetra 30 Plasmasystemen. Die Tetra 30 Plasmasysteme kommen vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz:
- Analytik (REM, TEM)
- Archääologie
- Automotive
- Biotechnologie
- Elastomertechnik
- Elektrotechnik
- Elektronenmikroskopie
- Feinwerktechnik
- Forschung und Entwicklung
- Halbleitertechnik
- Kleinserienfertigung
- Kunststofftechnik
- Medizintechnik
- Mikrosystemtechnik
- Solarzellentechnik
- Textiltechnik
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Prospekt Tetra 30
Grundausstattung
- Die Gehäusegrößen variieren je nach Komponenten/Optionen
- Kammervolumen: je nach Version 34 - 57 Liter
- Spannungsversorgung: 230 V oder 400 V / 3 Phasen
Gaszufuhr
- Mass-Flow-Controller (MFCs)
Vakuumkammer
- Edelstahl rechteckig, Tür mit Scharnier(ca. B 305 mm, H 300 mm x T 370 mm oder 625 mm)
Beladung
- Warenträger (Option: wassergekühlt), Quarzglasboote, Pulverdrehtrommel, Schüttgutdrehtrommel, Aluminumblech, Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas
Elektroden
- Ein- oder Mehretagen
- RIE Elektrode mit Gasdusche
Steuerung
- PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE)
- PC-Steuerung (Microsoft Windows POS Ready 2009)
Druckmessung
- Pirani
- Baratron (für Korrosivgas-Version)
Timer
- Digital
Generatoren
| Frequenzen: | 40 kHz: Leistung 0 - 1000 W; 0 - 1500 W; 0 - 2500 W |
| 13,56 MHz: Leistung 0 - 300 W; 0 - 600 W | |
| 2,45 GHz: Leistung 0 - 600 W; 0 - 1200 W |
Alle Generatoren sind stufenlos regelbar von 0 - 100 %
Vakuumpumpen
- In verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern (nach Bedarf mit Aktivkohlefilter)
Weitere Optionen
Ersatzteilsets, Druckmessgerät, Korrosivgasausführung, Gasflaschen, Druckminderer, Heizplatte, Temperaturanzeige, beheizbare Kammer, Faraday Box, Plasmapolymerisationszubehör, Testtinten, Sauerstoffgenerator, langsame Belüftung, langsames Abpumpen, TEM Probenhalterflansch, Wartung/Service, Dokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung. Weitere Optionen auf Anfrage.