Freigegebene ISM-Frequenz, die als Arbeitsfrequenz von Plasma-Quellen zum Einsatz kommt. Das resultierende Plasma wird aufgrund der Wellenlänge als RF-Plasma (RF = Radio Frequency) bezeichnet.
13,56 MHz
Freigegebene ISM-Frequenz, die als Arbeitsfrequenz von Plasma-Quellen zum Einsatz kommt. Das resultierende Plasma wird aufgrund der Wellenlänge als RF-Plasma (RF = Radio Frequency) bezeichnet.