Die Farbe eines Plasmas kommt zu Stande durch Emission aus energetisch angeregten Atomen, Ionen oder Molekülen bei der Relaxation in energieärmere Zustände. Da die Energieniveaus in jedem Gas unterschiedliche Energieübergänge aufweisen, zeigt jedes Prozessgas unterschiedliche charakteristische Emissionen und folglich unterschiedliche charakteristische Farben. Die typischen Farben einiger häufig in Plasma-Prozessen verwendeten Gase sind Folgende:
CF4: blau
SF6: blassblau
SiF4: hellblau
SiCl4: hellblau
Cl2: blassgrün
CCl4: blassgrün
H2: rosa
O2: blassgelb
N2: rot bis gelb
Br2: rötlich
He: rot bis violett
Ne: ziegelrot
Ar: dunkelrot
Die Farbe des Plasmas kann nicht nur zur Erkennung des Prozessgases genutzt werden, sondern auch zur qualitativen Abschätzung, ob das Prozessgas frei von Verunreinigungen ist.
