Die Komponenten einer Niederdruck-Plasmaanlage sind:
Der Rezipient oder Plasmakammer
Der 5,2 m³ große Rezipient der Anlage Tetra 5200
HF-Generator
Generatoren zur Hochfrequenzanregung gibt es im kHz-, MHz- und GHz-Bereich
Vakuumpumpe
Bei den größten Plasmaanlagen wie bei der Tetra 12600 werden mehrere Hochleistungspumpen zur Evakuierung benötigt.
Bei Großanlagen wie der Tetra 2800 erfolgt die Plasmaanregung durch mehrere HF-Generatoren, die mit der PC-Steuerung in einer Versorgungseinheit integriert sind.
Die Komponenten einer Atmosphärendruck-Plasmaanlage
Plasmabeam PC Atmosphärendruck-Plasmaanlage mit Hochspannungsgenerator, PC-Steuerung, Plasmaerzeuger und Versorgungsschlauch
