Die Mikrowellenstrahlung (2,45 MHz) wird nicht wie bei tieferen Anregungsfrequenzen über Elektroden erzeugt, sondern durch ein Magnetron. Das Magnetron befindet sich stets außerhalb des eigentlichen Plasmas und speist seine Strahlung durch ein Quarzglasfenster in die Plasmakammer ein. Dieses Verfahren der Plasmaerzeugung nennt man Mikrowelleneinkopplung.
Mikrowelleneinkopplung
