Eine der wichtigsten Modifizierungen der Oberflächeneigenschaften durch die Plasmatechnik ist die ⇒Veränderung der Oberflächenspannung

Sehr wichtig sind die Effekte der Oberflächenbehandlung durch Ätzen:

• Durch chemisches Plasmaätzen oder durch Mikrosandstrahlen erzielt man eine Oberflächenvergrößerung und damit eine weitere Verbesserung der Hafteigenschaften
• Durch anisotropes Ätzen (⇒Ionenätzen, ⇒RIE) werden Strukturierungen im Bereich der Halbleiterelektronik durchgeführt.

Durch Plasmabeschichtung können Oberflächen mit neuartigen Eigenschaften aufgebracht werden:

• Schutzschichten beispielsweise auf elektronischen Schaltungen
• Kratzfeste DLC-Schichten beispielsweise auch CD
• Verschleißfeste Getriebebauteile
• wasserabstoßende PTFE- oder HMDSO-Beschichtungen