Plasmaanlage

Eine Anlage zur Erzeugung eines technischen Plasmas zur Durchführung einer Plasmabehandlung.

Insbesondere sind dies Niederdruckplasmaanlagen, Atmosphärische Plasmaanlagen (Plasmabeam) und Coronaanlagen.

Niederdruckplasma
In der Diener electronic Forschungsanlage Bell Jar ist das Niederdruckplasma besonders gut zu betrachten

Aufbau einer Niederdruck-Plasmaanlage

Eine Niederdruck-Plasmaanlage umfasst die Hauptkomponenten:

mit den folgenden festen Bestandteilen:

  • Steuerung (im Allgemeinen mit dem Rezipienten kombiniert)
  • Schläuche und Schlauchanschlüsse
  • Elektrode(n)

und zahlreichem optionalen Zubehör.

Aufbau einer Niederdruck-Plasmaanlage

Aufbau einer Atmosphärendruck-Plasmaanlage

Eine Atmosphärische Plasmaanlage umfasst die Hauptkomponenten:

  • Plasmaerzeuger
  • Versorgungseinheit

mit den folgenden festen Bestandteilen:

und zahlreichem optionalen Zubehör.

Aufbau einer atmosphärischen Plasmaanlage