Beschichtungsverfahren, bei dem organische Moleküle im Plasma polymerisieren und sich auf einem Substrat niederschlagen. Da die Plasmapolymerisation durch Aufbrechen von Bindungen in den Monomer-Molekülen ausgelöst wird, sind mittels Plasma auch gesättigte Verbindungen polymerisierbar. Plasmapolymere weisen i. Allg. eine weniger regelmäßige Molekülstruktur und einen höheren Quervernetzungsgrad auf als analoge in flüssiger Phase hergestellte Polymere.
Durch Plasmabehandlung lassen sich viele Oberflächenbeschichtungen realisieren:
- PTFE-ähnliche Schichten
- Herstellung hydrophober Beschichtungen durch HMDSO
- Herstellung hydrophiler Beschichtungen mit Vinylacdetat
- Epilamisierung durch Polymersation von Fluoridmonomeren (CF4)
- Plasmaunterstütztes chemisches Dampfabscheideverfahren (PACVD, PECVD)
- Barriereschichten zur Vermeidung von Diffusion, Permeation
- dekorative Beschichtungen
